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常用精密加工和超精密加工方法 机械 2009-10-24 13:17:02 阅读547 评论0 ??字号：大中小?订阅 ? 分类 加工方法 加工刀具 精度/μm 表面粗糙度Ra/μm 被加工材料 应??用 刀具切削加工 切削 精密、超精密车削 天然单晶金刚石刀具、人造聚晶金刚石刀具、立方氮化硼刀具、陶瓷刀具、硬质合金刀具 1～0.1 0.05～0.008 金刚石刀具、有色金属及其合金等软材料，其他材料刀具，各种材料 球、磁盘、反射镜 精密、超精密铣削 多面棱体 精密、超精密镗削 活塞销孔 微孔钻削 硬质合金钻头，高速钢钻头 20～10 0.2 低碳钢、铜、铝、石墨、塑料 印刷线路板、石墨模具、喷嘴 磨料加工 磨削 精密、超精密砂轮磨削 氧化铝、碳化硅、立方氮化硼、金刚石等磨料 砂轮 5～0.5 0.05～0.008 黑色金属、硬脆材料、非金属材料 外圆、孔、平面 精密、超精密砂带磨 砂带 平面、外圆磁盘、磁头 研磨 精密、超精密研磨 铸铁、硬木、塑料等研具，氧化铝、碳化硅、金刚石等磨料 1～0.1 0.025～0.008 黑色金属、硬脆材料、非金属材料 外圆、孔、平面 油石研磨 氧化铝油石、玛瑙油石、电铸金刚石油石 平面 磁性研磨 磁性磨料 10～1 0.01 黑色金属 外圆 去毛刺 滚动研磨 固结磨料、游离磨料、化学或电解作用液体 黑色金属等 型腔 抛光 精密、超精密抛光 抛光器 氧化铝、氧化铬等磨料 1～0.1 0.025～0.008 黑色金属、铝合金 外圆、孔、平面 弹性发射加工 聚氨酯球抛光器、高压抛光液 0.1～0.001 0.025～0.008 黑色金属、非金属材料 平面、型面 液体动力抛光 带有楔槽工作表面的抛光器 抛光液 0.1～0.01 0.025～0.008 黑色金属、非金属材料、有色金属 平面、圆柱面 水合抛光 聚氨酯抛光器 抛光液 0.1～0.1 0.01 黑色金属、非金属材料 平面 磁流体抛光 非磁性磨料 磁流体 0.1～0.1 0.01 黑色金属、非金属材料、有色金属 平面 挤压研抛 粘弹性物质 磨料 5 0.01 黑色金属等 型面、型腔去毛刺、倒棱 喷射加工 磨料 液体 5 0.01～0.02 黑色金属等 孔、型腔 砂带研抛 砂带 接触轮 1～0.1 0.01～0.008 黑色金属、非金属材料、有色金属 外圆、孔、平面、型面 超精研抛 研具(脱脂木材，细毛毡)、磨料、纯水 1～0.1 0.01～0.008 黑色金属、非金属材料、有色金属 平面 超精加工 精密超精加工 磨条 磨削液 1～0.1 0.025～0.01 黑色金属等 外圆 珩磨 精密珩磨 磨条 磨削液 1～0.1 0.025～0.01 黑色金属等 孔 特种加工 电火花加工 电火花成形加工 成形电极，脉冲电源、煤油、去离子水 50～1 2.5～0.02 导电金属 型腔模 电火线切割加工 钼丝、铜丝、脉冲电源、煤油、去离子水 20～3 2.5～0.16 冲模、样板(切断开槽) 电化学加工 电解加工 工具极(铜、不锈钢)电解液 100～3 1.25～0.06 导电金属 型孔、型面、型腔 电铸 导电原模 电铸溶液 1 0.02～0.012 金属 成形小零件 化学加工 蚀刻 掩模板、光敏抗蚀剂、离子束装置、电子束装置 0.1 2.5～0.2 金属、非金属、半导体 刻线、图形 化学铣削 刻形、光学腐蚀溶液、耐腐蚀涂料 20～10 2.5～0.2 黑色金属、有色金属等 下料、成形加工(如印刷线路板) 超声加工 超声波发生器、换能器、变幅杆、工具 30～5 2.5～0.04 任何硬脆金属和非金属 型孔、型腔 微波加工 针状电极(钢丝、铱丝)、波导管 10 6.3～0.12 绝缘材料、半导体 打孔 红外光加工 红外光发生器 10 6.3～0.12 任何材料 打孔、切割 电子束加工 电子枪、真空系统、加工装置(工作台) 10～1 6.3～0.12 任何材料 微孔、镀膜、焊接、蚀刻 离子束加工 离子束去除加工 离子枪、真空系统、加工装置(工作台) 0.01～0.001 0.02～0.01 任何材料 成形表面、刃磨、蚀刻 离子束附着加工 1～0.1 0.02～0.01 镀膜 离子束结合加工 　 　 注入、掺杂 激光束加工 激光器、加工装置(工作台) 10～1 6.3～0.12 任何材料 打孔、切割、焊接、热处理 复合加工 电解 精密电解磨削 工具极、电解液、砂轮 20～1 0.08～0.01 导电黑色金属、硬质合金 轧辊、刀具刃磨 精密电