表面粗糙度测量显微系统的技术分析和不确定度评定.pdfVIP

I一 研筮 …………………………一 表面粗糙度测量显微系统的技术分析和不确定度评定 Technologyanalysisandevaluation ofunce~aintyforsurfaceroughnessm easurem entbym icro system 山东理工大学机械工程学院 戴梦萍 张路平 D aiM engping， ZhangLuping (Sch0010fMechanicalEngineering，ShandongUniversityofTechnology，JinanShandongChina，255000) 【摘要】基于扫描共焦原理的激光显微系统因其容易定位、精确测量微型轮廓、高分辨率等优点，顺应了现代社会对机械精密加工领域提出了更高要求的发展趋 势。本文全面分析 了基于扫描共焦原理的激光显微系统测量表面粗糙度的工作原理 ，并进行 7关键技术 的技术分析 。研究了测量重复性、仪器示值误差 、标准量 块校准不确定度 、温度等因素对精密测量实验的影响，提 出了选用特殊材料、仪器等措施改善实验测量条件的方法 ，对激光显微系统测量结果进行 了不确定度评 定。最终结果表明这一研究可 以普遍用于机械精密加工行业精密测量，对表面粗糙度测量具有指导意义。 【关键词 】表面粗糙度；激光显微系统 ；技术分析 ；不确定度评定 Abstract：Lasetm lcrosvs七cm ，basedonscanningconfocalprinciple，conformstothetrendofdevelopmenthtatputsforwardhighe req 。ttoht fieldofP 。“m n1“mg， because0fltsadvantages0feasvpositi0ning，accuratemeasurementofm icroprofile，highresolution．Thearticleanalyzeslasermicrosystem world“gprinciplofm n“g “rra。 r0u出nessr0undlvbasedonscarmingconfocal principleandmakesaconcreteanalysisofhtekeytechnologyW ehavestudiedhteinflue“ccofhterep tbll1 。fm。。 。m “， instrumenterror，calibrationuncertaintyofstandardgaugeblockandtemperatureonprecisionmeasurementexperimentTherefore，weofferam th。din 。rd。 。 mp 。 。 h。 measurementc0ndid0nsbyusing p a1materials，instrumentsandlasermicromeasurementuncertaintyisassessed．Thefinalresultsshow thathtis 。 rch Artbewidely dm precisi。nmachinervprocessingindustry，precisionmeasuremefitandithasdirectivesignificancetohtesurface 0u “ m 。 m 毗 Key ords：Surfaceroughness；Lasermicrosystem ；Technicalanalyis；Uncertaintyevaluation 1．引言 骤 中记录的数值进行 比较：如果测量值大于 如图3所示，在针孔共焦系统中，接受 随着机械精密加工行业的不断发展，表 存储值，数据会被新的反射光强度和镜头高 光元件 的前方有一个针孔 。针孔的大小仅有 面粗糙度测量技术在机械、电子、光学等精 度所覆盖 。二维CCD随着光强度增大而累积 1O，在未对焦 时激光共焦光学系统上的针孔 密加工行业 的地位显得至关重要，传统触针 电荷 ，在 电荷累计一定时间后，把 电荷传递 把没有对焦的光挡在 了接受光元件之外。激 式的表面粗糙度测量方法容易受