1nms高速率微晶硅薄膜的制备和其在太阳能电池中的应用.pdfVIP

下载本文档

5
0
约2.14万字
约 4页
2015-07-20 发布于安徽
举报
版权申诉

1nms高速率微晶硅薄膜的制备和其在太阳能电池中的应用.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第卷第期半导体学报年月高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用张晓丹张发荣赵颖陈飞孙建魏长春耿新华熊绍珍南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室天津摘要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术在相对较高气压和较高功率条件下制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大通过对材料的电学特性和结构特性的分析得知获得了沉积速率超过高速率器件质量级微晶硅薄膜并且也初步获得了效率达的高沉积速率微晶硅太阳电池关键词甚高频等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜太阳电池高沉积速率中图分类号文献标识码文章编号积速率微晶硅薄膜特别是高速率器件质量级微晶引言硅薄膜的研究还处于起步阶段本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技氢化微晶硅薄膜和微晶硅太阳电池已经成为硅术在较高气压和较高功率的前提条件下获得了沉薄膜太阳电池的研究热点因为微晶硅薄膜太积速率达以上的器件级微晶硅薄膜微晶硅阳电池的制备技术与现有的非晶硅薄膜和电池的制薄膜太阳电池的效率也达到了备技术兼容而且微晶硅薄膜太阳电池几乎不存在光致衰退效应另外微晶硅薄膜太阳电实验池和非晶硅薄膜太阳电池组成叠层电池将充分利用太阳光谱提高太阳电池的光电转换效率实验中所有