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低压条形栅功率场效应晶体管的研制.pdf
第 卷 增刊 半 导 体 学 报
２７ 犞狅犾．２７ 犛狌 犾犲犿犲狀狋
狆狆
年 月 ，
２００６ １２ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犇犲犮．２００６
低压条形栅功率场效应晶体管的研制
王立新 廖太仪 陆 江
（中国科学院微电子研究所，北京 １０００２９）
摘要：介绍一种新型低压平面结构的功率场效应晶体管———条形栅 通过与传统的元胞型结构比较，发
犞犇犕犗犛．
现条形栅具有导通电阻小、开关速度快以及工作稳定性高等特点 还对条形栅 的工艺做了介绍，其工艺过
． 犞犇犕犗犛
程简单，实用性强．
关键词：条形栅；犞犇犕犗犛；功率场效应晶体管
：
犈犈犃犆犆 ２５５０
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
犜犖３８６１ 犃 ０２５３００２０５０３
之一，它决定了器件在允许的功耗下能承受的电流
引言 大小．犚 （ ）由若干部分组成，如沟道电阻、寄生
１ 犇犛犗犖
电阻、外延层电阻、欧姆接触电阻等 对于低
犑犉犈犜 ．
功率场效应晶体管（犞犇犕犗犛），具有高输入阻 耐压器件来说，特别是 １００犞以下的犞犇犕犗犛，沟道
［］
１
抗、低驱动电流、开关速度快、负电流温度系数、安全 电阻是 （ ）的主要组成部分，占 以上 所
犚犇犛犗犖 ７０％ ．
工作区大等特点，已广泛应用于各种电子设备中 在 以减小沟道电阻是降低低压 犞犇犕犗犛导通电阻的
．
各种保护电路以及功率管理电路中，低压 犞犇犕犗犛 主要手段．
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