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真空退火对Ti6A14V合金离子注氧层表面形貌和结构的影响
李金龙1，孙明仁2，马欣新2
(1．中科院宁波材料技术与工程研究所，宁波，31520l；2．哈尔滨工业大学，哈尔滨，150001)
cm2。氧离子注入后对注入样品进行不同温度的真空退火处理。真空退火后，样品表面形貌发生显著变化。随着退火温度增
加，先后出现点状、条状缺陷和浅白色块状区。500℃真空退火后样品表面粗糙度变化不大，600℃真空退火后样品表面粗糙
度急剧增加。真空退火导致注氧层中氧流失，并且不能在注氧层中析出结晶相。
关键词：Ti6A14V合金；氧离子注入；表面形貌；结构
中图分类号：TGll3；TB333
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Abstract：Ti6A14V、Ⅳ雏仃eated wim50kVand in
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Ti6A14V合金因其具有优异的机械、化学、物C．Hammerl‘131在同素异构体的基础上对氧离子注入
理和生物相容性而广泛应用于宇航和生物医学领 后钛的相变进行解释。但对离子注
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