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330 第15届全国特种加工学术会议论文集(上) 压电自适应微细电火花加工控制及电极补偿 张亚1 张勤河1，付秀琢1,2白雪1，张建华1 (1．山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室，山东济南250061； 2．齐鲁工业大学机械与汽车工程学院，山东济南250353) 摘要：微细电火花h。．y-控制及电极补偿是影响微细放电加工精度和稳定性的关键因素，合理选择控制方法及 精确控制工具电板的轴向补偿，是提高微细放电加工精度和稳定性的有效手段。分析了压电自适应微细电火花加 工过程中存在的工具电极损耗问题，对现有各种电极损耗补偿算法的优缺点进行了比较分析，设计了基于放电状 态统计法和z轴回退策略的加工控制算法。进行了深槽和浅槽的验证加工实验，结果表明，所设计的加工控制算 法可以有效实现工具电极损耗的补偿控制，有助于实现高效、精密的自动化压电自适应微细放电加工过程。 关键词：压电自适应；微细电火花加工；控制；损耗补偿 电火花加工具有无宏观切削力、不受被加工对象硬度制约、可加工复杂零部件、便于实现加工自动化 等优点，在制造领域中发挥着越来越重要的作用。作为电火花加工的重要分支，微细电火花加工技术继承 了这些优点【lJ，在微细加工领域具有广泛的应用。本实验室提出的压电自适应微细电火花加工技术是一种 新型的微细电火花加工方法【2’3]，该技术基于压电陶瓷的逆压电效应引发工具电极和工件之间的相对振动， 可以实现放电间隙的自适应控制，自动消除短路及拉弧等有害现象，改善放电状态和加工稳定性，进而提 高加工效率，降低电极损耗。 本文介绍了压电自适应微细电火花加工加工原理，研究了压电自适应微细电火花加工控制方法，确定 了压电自适应微细电火花加工控制策略及控制流程，通过放电间隙状态的检测和检测信息闭环反馈控制， 实现高效、精密的自动化微细放电加工过程。 1 压电自适应微细电火花加工原理 压电自适应脉冲式微细电火花加工技术的原理如图1所示。压电致动器固定在宏动工作台上，通过宏 驱动机构实现粗进给；压电致动器本身由直流电源激励，直接驱动工具电极完成微进给。激励压电致动器 的直流电源不仅与压电致动器相连，而且还分别与工件和工具电极相连，在电路上构成并联回路。利用压 电陶瓷致动器自身电容，构成一个等效RC电路，为使放电能量可调以适应不同加工规准的电火花加工， 在压电致动器两端并联一可调电容，电火花加工过程中的放电能量主要由可调电容器提供。其等效电路图 见图2，其中C1为压电致动器，C2为可调电容器。为防止压电致动器放电回路中电流过大而使其损坏，在 压电致动器放电回路中串联一限流电阻R2，同时利用该电阻改变放电过程中压电致动器的跟随效果，使加 工始终保持在最佳状态。 压电自适应微细电火花加工系统的加工过程如图3所示。首先，压电致动器Cl及可调电容器C2与一 直流电源E(0～100V连续可调)相连(图3a)，压电致动器的等效电容及可调电容器开始充电(图3b)， 在逆压电效应下压电致动器伸长并驱动工具电极进给一微小位移(其伸长量与开路电压值成正比)；接着， 宏驱动机构通过连接板驱动压电致动器和工具电极进给，当工具电极与工件之间的间隙达到最佳放电击穿 间隙时，放电通道形成，等效电容及电容器同时瞬间放电(图3c)，压电致动器收缩并驱动工具电极回退， 放电通道断开，完成一次脉冲放电(图3d)；随后，在直流电源的激励下，压电陶瓷致动器及可调电容器 再次充电，压电致动器伸长重新进给，进行下一次脉冲放电(图3e)，周而复始，实现了压电自适应电火 花加工(图3f)。 微细电火花加工 331 E 4．可调电容器c2 E：直流电源R，：限流电阻R2：限流电阻 1．底座2．电极3．主轴R2 7．宏动工作台 C，：压电致动器c2：可调电容器 5．直流电源6．限流电阻Rl 8．压电致动器9．限流电阻lO．工作液11．工件 图2等效电路图 图1原理示意图 (a) (