背覆金属层式共面波导电极结构分析.pdfVIP

背覆金属层式共面波导电极结构分析 李建成，徐楠，李健，张志新，王慧敏 (中国计量科学研究院光学所，北京100013) 摘要：主要研究了以钽酸锂电光调制器为对象的共面波导(基准阻抗为50Q)结构参数之 间的关系问题．采用保角变换理论对电极结构、晶体厚度及特性参数进行数值分析，研究 结果表明：电极加工宽度的微小变化会对特性阻抗产生较大的影响，中心导带宽度变化 1灿，基准阻抗改变5．35r5．78％；设计特性阻抗为50Q的共面波导，对称结构具有较好的 取值条件．计算公式和分析结论对研究设计基于钽酸锂电光调制器的共面波导具有应用价 值． 关键词：共面波导；保角变换；50Q特性阻抗；钽酸锂电光调制器 Metal CPW TheElectrodeStructure ofBack Analyses layer LI Huimin Jian-wei，XUNan，LIJian，ZHANG Zhixin，Wang NationalInstituteof 1000 Metrology,Beijing13，China Abstract：Themain ofthis isto the ofCPWstructural purpose paper studyrelationship CPW the of whilethebenchmark of is 50Q．andCPWLiTa03 parameters impedance modulatoristakenasan isusedtOobtainthe electro-optical example．Conformalmappingtheory and numerical ofelectrode ofthesubstrate relationship structure，thickness propertiesparameters， thatthelittle ofelectrodewidthwouldaffecttheCPW andtheresultsshow change remarkably, l shiftofthecenterconductorwidthwillinducethe inthebenchmark iana change impedance the ofthecharacteristicline of50f2 from5．35％to5．78％．For CPW： ranging design impedance isa choice．Theformulasand areusefulinthe of structure symmetrical good analyses design of