含硅类金刚石膜地研究进展.pdfVIP

助 能 材 抖 2010年论文集 含硅类金刚石膜的研究进展+ 刘 璨，兰惠清，王 洋 (北京交通大学机械与电子控制工程学院，北京100044) 摘要：硅掺杂的类金刚石(Si—DLC)薄膜能明显改增强黏着强度和减小膜的内应力。为了增强膜的依附 善DLC膜在潮湿空气和高温下的性能，具有很好的工 性和减小DLC膜的内应力，可通过各种沉积技术将其 业应用前景。评述了舍硅类金刚石膜的研究进展，详 细介绍了其制备方法，以及含硅量对其微观结构、硬度 和摩擦系数的影响及其机理，为今后的研究工作提供 以下几方面的主要应用： 参考和依据。 关键词： 含硅类金刚石膜；进展；硬度：摩擦 是实现高温应用的一个主要问题。DLC膜可以在400 中图分类号：0484 文献标识码：A ℃时保持稳定性能，若高于这个温度膜开始石墨化。 而为了实现高温应用，例如用于铸模的材料。则需要 1 引 言 DLC膜至少能够在大气中承受高达500℃的温度，这 like 类金刚石(diamondcarbon，简称DLC)薄膜， 加Si可以改善DLC膜的热稳定性n]。 是一种新型的硬质润滑功能薄膜材料，具有sp2和sp3 电子轨道杂化的碳原子空间网络结构。正是这种特殊 (2)降低摩擦系数。Lee等人得出结论，结合Si 的微观结构，才导致它既具有石墨的润滑作用又具有 的DLC在潮湿环境中有低的摩擦系数¨]。 接近金刚石的硬度，并且通过调配sp2和sp3结构的比 例可以获得不同性能的膜层[1]。它有很好的力学性 DLC的耐腐蚀性有显著改进，加抗电荷转移性的增加 能，表现在高硬度、低摩擦系数和高耐磨性。因此，在 和极化曲线阳极电流的减少。Si—DLC膜显著提高了 过去的20年间，DLC膜引起了工业和学术研究领域防护性能，这点可以由转移电荷电阻的增加证实[3]。 的广泛兴趣。DLC膜以其独特的物理、力学、生物、以 (4)扩大透明的红外区范围。典型类金刚石膜在 及摩擦学特性，不仅在学术上颇具吸引力，而且也为大 红外区有好的透明性。然而透明性的可见区很受限 量工程应用奠定了商业基础。从图1中可以看出， 制，这一问题可以通过加入Si来得到解决[5]。 t DLC膜(主要分为含氢(a—CH)和不含氢(a-C)两大 类)具有较强的硬度，同时在摩擦学方面具有低的摩擦 系数[2]。实际上，这些薄膜已经投入到大量工程应用 中。包括刮胡刀片、磁盘、发动机核心部件、机械密封、 防划痕玻璃、植入和可移植医疗设备以及微电子机械 常导致有关医学设备传染的绿脓杆菌、表皮葡萄球菌 系统等。 和金黄色葡萄球菌，对Si—DLC膜的细菌黏着性进行了 估计。实验结果表明。细菌的依附性随着膜中Si含量 的增加而减少。所有的Si-DLC膜在减少细菌附着上 比316L钢好。带菌数量随着接触时间的增加先增加， 而后在达到最大值后减少。 可见，Si—DLC膜已在很多的领域发挥了它的作 用，为了对其全面了解，我们对Si-DLC膜的制备方法、 结构、硬度和摩擦系数等进行了综述。