步距规校准新方法的探讨.pdfVIP

计 量 学 报 2012年11月 2．1光斑定位方法 优于0．05岬。图3中的脉冲型曲线为光电接收器 光斑定位方法在光路上借鉴了光切显微镜的测 输出电压信号，阶梯型曲线为用另一路激光监测的 量原理。首先，将步距规固定在2m比长仪的移动 步距规移动时光电接收器输出的电压信号。图4是 导轨上，并将步距规测量面的轴线调整到与导轨平 将两路信号合成后得到的光强位移变化的曲线。 行。如图1所示，将半导体激光器出射的光束经透 镜组汇聚后以45o斜入射到步距规工作面中心上， 步距规工作面中心应位于透镜的像方焦面上，反射 后再经透镜组汇聚到狭缝上，并由狭缝后的光电二 极管接收光强信号。半导体激光器发出的是一个发 散的细长光束，此时步距规测量面中心上得到的是 一个边缘清晰且明亮的细长光斑，光斑经反射后再 次成像在狭缝表面。当步距规移动时，工作面上的 光斑也移动，光斑通过狭缝的光强变化由光电接收 图2钟形波信号 器记录下来。当步距规向一个方向匀速运动时，得 到的是一个中心对称的钟形波信号。采用不同算法 可对钟形波信号进行处理，找到其特征值达到瞄准 工作面的目的。 图3光电接收器输出的电压信号 图1光斑定位法测量原理图 l一半导体激光器；2一透镜组；3一狭缝；4一光电接收器； 5一步距规基体；6一步距规工作面 ’● 用该方法进行了初步的实验，得到的钟形波信 ，· ：… ● ● !…! ? 号如图2所示。其中，光源采用半导体激光器，光斑 ： ；． l ■ o 直径约linnl，光斑直接照射在步距规表面，反射后 !， ： 的光经狭缝后由光电二极管接收。实验表明，形成 ；轴蠢鼬．碍瞒；之也∥ ． ‰j¨子≯舔；埘j 一个完整的钟形波信号，步距规的移动量约为 O．2mm。汇聚在步距规工作面的光斑直径越小，则 形成一个钟形波信号所需步距规的移动量就越小， 光学探头的灵敏度就越高，故进一步改进光路，缩小 图4光强位移变化曲线 光斑直径可有效提高灵敏度。在进一步的实验中， 实验结果表明，激光光斑的汇聚程度、调焦准确 将激光器出射光经透镜汇聚，光斑直径缩小为约 性以及狭缝的宽度均是测量灵敏度的直接影响 0．5mm，并将步距规被测表面的移动量和光电接收 因素。 器输出信号进行比较，得到了光强随移动量变化的 2．2刻线定位法 曲线，(见图3、4)。此时，光强信号幅度约为 为了改进光斑定位方法中灵敏度受光斑直径限 150 mV，步距规的移动量为0．1mm，缩小狭缝的宽 制的弊端，提出了刻线定位的思路。其光路同样借 度，同时精确调焦使灵敏度进一步提高，当狭缝宽度 鉴光切显微镜的测量原理，如图5所示，即将一个线 mm，此 宽在10斗m左右的