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膜技术在工业纯水、超纯水制造中的应用 徐荣安 (国家海洋屙杭州水处理技术研究开发中心，杭州，3100t2) 唼 ～ 摘 要 ‘ 本文综合叙述了膜技术在我国电子工业、动力工业、医药工业、改料工业纯 水、超纯水制造中应用的技术现状；展望了该行业的趋势；最后就加快我国膜工 业产业化进程提出了几点建议。 ，㈠ 一、刖 吾 膜技术是so年代研究、开发的一项高新技术，美国等工业发达国家，在70 年代末产业化，并开始大规模地应用于水处理领域；我国研究工作虽然起步于 1967年，但产业化和工程化开发工怍进程较慢，通过国家科技攻：造项目的实臆 和国际技术、商务合’。：#，建互丁一大批行业性的示范工程，极大地推动了膜组器 研究及其工程也用开发的步伐。特别近10年来，在我国工业纯水、超纯水制造中 的应用成功和迅速增长，大大地促进了水处理工业的科技进步，有力地推动了半 导体、微电子、生物、医药、能源、饮料等相关行业的发展。膜设备制造业和瓶装水 制造业等新兴产业已初具规模。据不完全统计，我国巳投运和在建的膜设备，其 总造水能力已达45万吨，天，98年产值达6亿元；瓶装水制造能力已超过500 万吨／年，98年产值约30亿元；行业的迅速发展已引起社会、政府、科技和产业 界的高度注视。 二、工业纯水、超纯水的制造 j电子工业 纯水、高纯水是单晶硅、硅片、半导体元器件、薄膜电路、印刷电路、集成电 路、真空管、液晶显示器及其他电子级试剂、材料生产过程中不可缺少的基础材 料之一。特别是大规模、超大规模集成电路制造技术，是一项极其复杂、综合性的 微加工技术，其生产过程中80％工序都要用超纯水清洗硅片。并进入高温过程， 此时水中的微量杂质就会导致器件性能的下降，降低成品率。因此．电子级纯水， 是至今世界上需要最纯净的水，水处理领域中许多高新技术和装置，首先在电子 工业中得到应甩、改进和发展，可以不夸张地说，没有超纯水制造技术的进步，就 没有微电子工业的今天，而微电子的技术进步，促进了水处理技术的发展。 电子工业超纯水的传统工艺是离子交换工艺，或电渗析——离子交换工艺， 该工艺在电阻率指标上能满足其要求，但在微粒、总有机碳(TOG)、溶解氧 (Do)、细菌等指标，不能满足电子工业的要求。80年代中，随着我国电子工业发 展的需要，lO年期间，先后狄美国、日本和英国引进了数百套超纯水成套设备， 直接设备费约3000万美元。这些成套设备中的关键设备是反渗透和终端微孔膜 过滤。反渗透——离子交换——微孔过滤联合新工艺取代了老工艺。“大规模集 成电路用超纯水系统的研究试验”和“大型膜、组器技术的研制”等研究项目，被 列入国家“七五”科技攻关项目，经过近15年的努力，技术开发和工程化应甩工 作进展很快，目前，我国已掌握了电子工业纯水、超纯水成套设备的系统设计；设 备制造、成套；安装调试；技术培训等关键技术，并在行业中得到了应用，结束了 长期以来，这类高科技产品一直依靠进口的被动局面，并使我国成为世界上掌握 该高新技术的少数国家之一。 2动力工业 动力设备的生产过程，需要大量的高纯水作为水、汽循环系统的介质和冷却 剂，水质对锅炉、汽轮机的安全运行、工作效率和寿命有关直接的重要影响。特别 是高温、高压、大容量机组和核电装备的投入运行．对水的电阻率、二氧化硅等指 标及水处理系统的安全性，提出了更高的要求。另一方面，水源污染，造成原水含 盐量和有机物含量的逐年上升，原有离子交换或电渗折——离子交换系统，不能 适应这一变化，造水成本增加，水质及其安全性下降。从而严重影响动力设备的 安全性和效率。80年代中，随着我国电力工业的发展需要，引进了一批大容量的 反渗透设备，用于高压锅炉补给水除盐系统的预除盐工