CCD在上弱光检测中的应用.pdfVIP

第l3卷增刊 数 据 采 集 与 处 理V01．13Sup ofData Oct．1998 199B年10月 Journal Acquisition＆Processing CCD在几种弱光检测中的应用’ 刘亚楠 董晨钟 (西北师抠大学铂曩系 兰州，730070) 萧天庆 (兰州军区高辱医学专科学校 兰州．730020) ■一CCD悬一种性■优寞曲新蠹光电转换■件．奉烹介 个电子．在读出遗度较低和冷却情况下·瞳机囔声水 绍了缱肆CCD和t机殂虎的光学争道分析仪(OMA)在光 平仅几十电子，可■出没有或很少赣齄、可靠性高、 蕾研兜瞢工作中∞直朋，以置一阵ccD在●量权应宴t、x虚车怔的CCD，蒜片面积可t蓟几十平方曩米．特殊 射墁置7射墁擐一方Ⅲ的应用． 鲁薹的大面积单元可用CCD标准组件拼嵌组成阵 列．CCD B成为现代光电子掌和光学丑其他信号捡 美t调t电荷■音嚣件(CCD)}羁光撞■ 中_牙羹·，o‘3《；兢3t．ii抽15 舅技术中不可缺少的嚣件．在弱光信号检测和其他 物理量的检测方面已获耨广泛的应用．奉烹俺要介 引 言 船将一堆缱阵ccD嚣件和二维面阵CCD嚣件成功 地用于光谱爿量和其他方面的一些工作． devices)悬 电荷藕台暑件CCD(Ch-r妒coupled 用电荷量反姨先子置量强弱，以舞台方式传■电瞢 量的新疆光t半导体嚣件，其实质量一种MOS1线辟CCD用于光谱涓量和研究 ovide (Metalsemic．onductuctor)电容元阵列螭杓的 传统的各类光谱便嚣设备通常以囊光乳荆作为 固体备件．在CCD的MOS■电楹上加正电压时， 接收、记录光信号的介魔，■于光化学撵舅．其优点 硅片寰面下形成位井，阱中可以俘获并存贮负电荷． 是可对所有光臀筑作并行捡舅。获得一簟空恳分布 兵墨的讲探为3×10s～5X101个电子，位阱丰饱和 的同时落，有较好曲空同分并健力．便于长期保存． 前，其中囊积的电瞢与光叠t虞正比。园●电扳闻甩 赣点量摄奠曼t度低，囊光量囊^腔特性曲线的隈 棍小．在亚鬣米量袋．位并之间发生交叠，一个位阱 ■．必曩在嗜塞完成量髟、定影、斌干辱：眭理工作·需 中的电荷可藏^另一十位辨之中·其要控■各■援 上眦位变化．即可宴现电荷的■台和转咎。井将光 要有腱蕾仪、比长仪、熏度计等蔓謇设鲁，经过多次 繁杂处理工作和一量手续，不仅数据处理不艇，而且 信号的变化转换为电信号．它具有自扫描，光谱范重 报窖易引进一井的误整．近年来，先进的光谱泔量和 宽、动态范日大、体积小、功耗低、曼t度高、容葛实 分析，工作已t光学多道分析投——oMA(Optical 现与计算机联接等一系列独特的优点．由于利用了