半导体存储器测试系统的新进展.pdfVIP

1998年10月 计算机工程与科学 第20卷第A1期 oct．1998 COMPUTERENGINEERING＆SCIENCEVol_20No．A1 半导体存储器测试系统的新进展+ ofSemiconductor NewAdvances Memory TestingSystems 刘鸿琴 Liu Hongqin (江南计算技术研究所) Instituteof (Jiangnan ComputingTechnology) 摘要本文以半导体存储器的工艺进步和市场需求为背景，介绍了超大规模存储器测试系统在 体系结构测试技术及测试方法等方面的最新进展． ABSTRACTThis describesthelatestadvancesof paper verylarge—scalememorytestingsystems in andmethods，whichisbasedonthe the architecture，testingtechnologies processimprovementsand currentmarketofsemiconductor memory． 关键词 自动测试设备，算法圈彤产生器，半导体存储器。 KEYWORDSATE，ALPG，semiconductormemory． 一、引言 随着计算机和通信事业的发展，半导体存储器得到了愈来愈广泛的应用，其产量在所有集成电路中 所占比例晟高，其技术在超大规模集成电路中也是领先的，几乎每一代半导体工艺的最细线宽和最高 密度都是由存储器的设计而率先实现的。因此，对半导体存储器测试技术的要求也愈来愈高。不仅要对 交、直流参数进行测试，而且由于半导体存储器的动态特性对存储的图形的读／写序列的敏感性．还必 须进行独特的功能测试。 半导体存储器的测试，可在通用的VLSI测试系统中进行，亦可采用专用的存储器{曼j试系统。然而 不论采用哪一种测试设备(ATE)，其关键问题是要解决存储器容量的增加与测试时间加长的矛盾。要解 决这一矛盾叉会带来测试费用的增加，从而影响存储器产品的成本和市场竞争的能力。因此，寄希望新 的测试技术和方法推动存储器测试系统的发展． 二、存储器测试系统的现状 1系统的构成 为适应新一代VLSI存储器设计、生产及特性评估的需求，新型的高性能存储器测试系统层出不 穷，其体系结构大同小异，不断更新。 系统大多由主机、算法图形产生器、定时发生器、格式化电路、驱动器电路、失效分析存储器、逻 ‘箨薯晶羿：刘19鸿98琴t#，8娄．。1936年11月生，高级工程师，研究方向为电子测量、集成电路测试等． 通讯地址：214083江苏省无锡市35信箱810号 15 辑比较器、精密测量单元和器件电源等组成。 为了实现多路同时并行测试存储器件，系统多采用按测试位置分配资源(Tester—Per—Site)的结构． ，曩Ijiu_ln，l 为了提高系统的吞吐能力，有些系统加装双测试头，交叉存取方式，甚至有