触针式表面轮廓测量仪量值溯源方法的研究.pdfVIP

，∥—_■L f劬羞黧毒婴L————————————剧蚴 触针式表面轮廓测量仪量值溯源方法研究 张建群陈晓燕王朝阳林景星 (福建省计量科学研究院福建福州 350003) 【摘要】目前国内尚无开展检定或校准接触(触针)式表面轮廓仪的计量检定规程或校准技术规范，致使无法对接触(触 针)式表面轮廓仪测量的二维形状、位置等参数的量值进行溯源，我省大、中型机械加工企业和检验机构的机械 加工、产品检验领域又需要对接触(触针)式表面轮廓仪量值溯源。为确保开展接触(触针)式表面轮廓仪量值溯 源与检测数据准确可靠，根据接触(触针)式表面轮廓仪工作原理与计量技术特性，研究提出接触(触针)式表面 轮廓仪计量性能的校准方法及其校准结果的不确定度评定方法，作为我省在开展校准接触(触针)式表面轮廓仪 的技术依据。 【关键词】表面轮廓测量仪 几何量 误差 校准 不确定度 评定 一、概述 接触(触针)式表面轮廓测量仪(以下简称轮廓仪)一般由传感器、驱动器、电子信号处理装置、计算机、打 印机等组成。其工作原理是：通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量，传感器通过锐利触针感受被测表 面的几何形状变化，并转换成电信号。该信号经放大和处理，再转换成数字信号贮存在计算机系统的存贮器 中。计算机对此原始轮廓进行数字滤波，并计算其参数。主要用于测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形 状。如：凸出量、曲面曲率半径、直线度、平行度、倾斜度、角度。特别对轮廓仪静态测量力、基准导轨直线度、轮 廓垂直分量示值误差、轮廓水平分量(X轴)示值误差、半径测量示值误差、半径测量重复性、角度测量示值误 差、角度测量重复性等计量性能的校准。因此，本文将对轮廓仪静态测量力、基准导轨直线度、轮廓垂直分量 示值误差、轮廓水平分量(X轴)示值误差、半径测量示值误差、半径测量重复性、角度测量示值误差、角度测 量重复性等如何进行校准而给出校准方法研究与说明，并对其轮廓仪示值误差(轮廓垂直分量、轮廓水平分 量(X轴)、半径、角度)的校准结果不确定度进行评定分析。 二、轮廓仪的校准 1、校准项目与校准用标准设备 针 序号 校准项目 标准器及其它设备 l 静态测量力 中准确度等级电子天平。其分辨力0．019 2 基准导轨直线度 l级平面平晶 3 轮廓垂直分量示值误差 4等量块。2级平面平晶 4 轮廓水平分量(X轴)示值误差激光干涉仪，MPE：±(0．03+0．5L)It．nl 5 半径测量示值误差 半径和形状经校准的标准球或标准半球(R10mm— R20m和R70mm～R 6 半径测量重复性 90mm各一个) 7 角度测量示值误差 四等棱体 8 角度测量重复性 一148— 海峡计量涮苁， 2、校准方法 检查轮廓仪各部分相互作用，确定没有影响校准计量特性的因素后校准。 2．1静态测量力 将触针针尖轻轻地压在电子天平上，调整传感器的高低位置，使传感器触针位移显示指向零位。读出电 子天平的示值，再乘以重力加速度g(g=9．8m／s2)，即为触针静态测量力。 2．2基准导轨直线度 将工作面长度大于轮廓仪X轴测量范围的l级平晶水平放置在轮廓仪工作台面上。调整轮廓仪垂直分 辨力为最小值，轮廓仪滤波器选择高斯滤波器，且截止波长不大于0．5mm。 按规定的长度在X轴测量范围内至少取三段测量平晶表面轮廓，用最dx--乘法分别计算各段表面轮廓 的直线度，取各段直线度中的最大值作为基准导轨规定长度的直线度。