微小光学零件超精密加工方法概述.pdfVIP

2012年 l1月 机床与液压 NOV．2012 第40卷第22期 MACHINET0OL HYDRAULICS Vo1．40No．22 DoI：10．3969／j．issn．1001—3881．2012．22．039 微小光学零件超精密加工方法概述 刘林枝 (湖南机 电职业技术学院，湖南长沙410151) 摘要：随着现代科学技术的发展，微小光学零件的需求量不断增大，因此针对微小光学零件加工方法的研究也越来越 多。介绍超精密金刚石车削、超精密磨削、磁射流抛光和磨料液体射流抛光在微小光学零件加工中的应用。 关键词：微小光学零件；超精密金刚石车削；超精密磨削；磁射流抛光；磨料液体射流抛光 中圈分类号：TH16 文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2012)22—116—2 Overview ofM icro-opticalComponentsUltra-precisionProcessingMethods U U Linzhi (HunanMechanicalElectricalPolytechnic，ChangshaHunan410151，China) Abstract：Withthedevelopmentofmodem science，thedemandofmicro—opticalcomponentsisincreasing．Somicro—optical componentsprocessingmethodhasbeenresearchedmoreandmore．Theapplicationsofultra—precisiondiamondturning，ultra—preci— siongrinding，magnetorheologiealjetpolishingandabrasiveliquidjetpolishinginprocessingofmicro—opticalcomponentswereintro— duced． Keywords：Micro-opticalcomponents；Ultra—precisiondiamondturning；Ultra—precisiongrinding；Magnetorheologicaljetpolis— hing；Abrasiveliquidjetpolishing 光学零件在高技术领域和军事、工业 、民用等领 刚石车削示意图如图1所示。 域中应用十分广泛，其中微小光学零件作为制造微、 =： 小型光电系统的关键元件，具有体积小、质量轻，并 且能够实现普通光学零件难以实现的微小、阵列、集 具 成、成像和波面转换等优点而被越来越广泛地应用。 微小光学零件需求量的日益增大 ，促进了微小光 学零件加工技术的不断革新和发展。目前微小光学零 件常用的超精密加工技术有超精密金刚石车削技术、 图1 单点金刚石车削原理 超精密磨削技术、超精密研磨抛光技术等。 利用单点金刚石刀具车削单晶硅镜头时，其非球 1 超精密金刚石车削 面的表面粗糙度可达到 16nm，形状精度 ( 值)可 超精密金刚石车削技术是20世纪80年代以来国 达到 1．36Ixm 。 际上推广应用的一项新技术，是超精密加工的技术途 2 超精密磨削 径之一，是一种原子、分子级加工单位的去除加工方 超精密磨削技术是在一般精密磨削技术基础上发 法，是一种重要的制造具有纳米级表面粗糙度精密零 展起来的，是一种常用的光学晶体零件的超精密加工 件的加工技术