MMIC在片测试探头的性能测试.pdfVIP

的s参数。根据测量结果和传输线的s矩阵．可以得到一组关卜s。。、S，SI、的方程 组，求解方程组后得到个微探头的S参数． 在该方法中．睦|于一对：教探头的S参数不完全相问，传输线特性阻抗不精确．以 及校准和测量的误差．都会一《得到的微探头s参数不准确． 另外一种方法是：首先茁参考甲而l(Planel)进行刚轴的单端[j校确．：然后接被测 有式fI)： r=：S¨+一S21塑!!生 1一n{$22 式(1)可改写为： 8S22_△：! 上‰S+r n rL (2) 其中，△=Sll+S22一S12‘S21，对互易器件有S12=s2J。 在ru、r。2和r。3三种负载下，测得反射系数r、、r：、r，，得到下列方程组 _Lrl一1 r1 rLl