石墨炉原子吸收光谱法测定超高纯试剂中钙的研究．.pdfVIP

维普资讯 76 福建分析测试 FujianAnalysisTesting 石墨炉原子吸收光谱法测定超高纯试剂中钙的研究 陈 旗 (苏州市晶协高新电子材料有限公司，江苏 苏州 215151) 摘 要：研究了超高纯试剂异丙醇中痕量钙的石墨炉原子吸收光谱测定法。制定了石墨炉原子吸收光谱法测定痕 量钙的分析程序，试样经挥发浓缩，采用标准曲线法测定；还确定了仪器最佳工作条件，原子化条件等，研究了共存 离子的干扰，回收试验及实测样品等。同时将石墨管用氯氧化锆进行适当的处理，并控制合适的仪器操作条件及 升温程序 ，即可提高石墨炉原子吸收法测钙的灵敏度 ，获得了较满意的结果。 关键词：钙；石墨炉原子吸收光谱法；超高纯试剂 中图分类号：0657．3l 文献标识码：A 文章编号 ：1009—8143(2008)03—0076—03 StudyontheDeterminationofM icro—amountcalcium inSuper—pureChemi calReagents byGraphiteFurnaceAtomicAbsorptionSpectrometry Chert Qi (SuzhouJingxieHNElectronicMaterialCo．，Ltd，Suzhou215151，China) Abstract：Westudiedtheanalyticalconditionsforcalcium determinationwitllaTAS一99Oatomicabsorptionspectropho- tometer．Inordertodeterminemieroamountcalcimu insuper—puregradeisopmpylalcohol，weadoptde evaporationcon- een~ationnadstnadardcurvemethod．Thegraphitetubewasproperlyprocessedwiht zirconium oxyehloride．Togehterwiht hteappropriateoperatingconditionsnadtemperatureprogramming，htesensitivityforcalcium detemr inationbygraphitefur- naceatomicbasoprtionspectrometrywasenhnacde nadsatisfactoryresultswereobtainde ． Keywords：calcium ；rgaphitefurnaceatomicbasoprtionspectrometry；super—purechemicalreagent 引 言 带入任何杂质。 超净高纯化学试剂在 电子工业中的应用主要 苏州市晶协高新电子材料有限公司生产的超 在芯片集成电路制造方面。一是用于芯片基片在 高纯电子级异丙醇，主要用于电子行业，用做硅片 涂胶前的湿法清洗；二是用于芯片在光刻过程中的 去脂及干燥剂，清洗剂。异丙醇为无色透明液体， 蚀刻及最终去胶。 能与水、醇、醚和氯仿混合，易燃。目前电子工业用 超净高纯试剂是半导体制造过程中的关键化 试剂暂无国家标准，笔者通过本实验测定超高纯电 工材料，主要用于芯片的湿法清洗、蚀刻及硅晶片 子级异丙醇中钙的含量，获得了较满意的结果。 的清洗，其纯度和洁净度对微 电子 (IC)产品的成品 l 实验