单晶Al2O3镜面加工工艺的研究.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.16万字
约 4页
2015-08-12 发布于安徽
举报
版权申诉

单晶Al2O3镜面加工工艺的研究.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

35 1 2002 1 JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITYVol. 35No. 1Jan. 2002 -Al O 2 3 1, 2 1 周　海 , 周来水 ( 1. , 210016; 2. , 224003 ) : 通过对单晶 - 磨削研、磨抛、光工艺中的设备工、具辅、料清、洗环、境等方面的 Al2O3 研究, 优化了工工艺, 使晶片表面粗糙度降低到 0. 4 nm 以下, 成品率由 94%提高到 99. 5% , 工成本降低了30% . : - ; ; ; Al2O3 : 161: : 0493-2137(2002) 01-0031-04 TH A - 2 3 . Al O : , A . . : MOCVD GaN . -Al2 O3 . 2 3 1. 2 . -Al O , . -Al2 O3 , , , - 2 3 X Al O , 0001, , C , , , . , . 1. 3 1, , 1 , 7 L , , , . , . 1. 4 . 2 , 1 1. 1 4 . - 2 3 Al O , 0. 0010.005 . , , ( 0. 1 0. 3 m) , , . , -Al2O3 :A