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维普资讯 水热法制备薄膜技术* 黄 晖。 苗鸿雁 罗宏杰 姚 熹。 (西‘安交通大学电子材料研究所，西安 710049；陕西科技大学材料工程系，咸阳 712081) 摘 要 水热法制备薄膜是近年来发展起来的一种很有潜力的液相制膜技术，在制备压电、铁电 和氧化物薄膜等领域 内的研究很活跃。本文介绍了水热法制备薄摸技术，并综述了相关的研究成果。 关键词 水热法 水热技术 薄膜 薄膜材料因其优异的性能及潜在的工业应用 成某些反应或对废弃物进行无害处理、在较低温 价值，各种新的制膜方法不断得以研究和应用。 度下完成某些陶瓷材料的烧结 、制备薄膜等。 目前，制膜方法已从真空蒸镀发展到离子镀、溅射 1．2 水热法制膜原理 镀膜、气相沉积 (PVD，CVD，MOCVD，LCVD)、分子 水热法制备薄膜的化学反应是在高压容器内 束处延、溶胶一凝胶 、喷雾热解等。水热法最早是 的高温高压流体中进行的。一般 以无机盐或氢氧 在地质学领域展开的，现已广泛应用于材料制备， 化物水溶液作为前驱物 ，以单 晶硅、金属片、a． 显示出极大的优越性。而用水热法制备薄膜是近 Al2O3、载玻片、塑料等为衬底 ，在低温 (常低 于 20年来发展起来的一种很有潜力的液相制膜技 300％)下对浸有衬底的前驱物溶液进行适当的水 术，在制备压电、铁 电和氧化物薄膜等领域内的研 热处理，最终在衬底上形成稳定结晶相薄膜。其 究很活跃。 反应过程的驱动力认为是可溶前驱物或中间产物 与最后稳定氧化物之间的溶解度。 1 水热法制备薄膜的原理及特点 水热法制备薄膜分为普通水热法和特殊水热 法，其中特殊水热法是指在普通水热反应体系上 1．1 水热法概述 再~HJtl其它作用场，如直流电场 、磁场、微波场等。 水热法是在特制的密闭反应容器 (高压釜) 水热一电化学法是在反应体系的两 电极间加直流 里 ，采用水溶液为反应介质，通过对反应容器加 电场，控制粒子的沉积方向，可控制膜的纯度，降 热 ，创造一个高温、高压的反应环境，使得通常难 低反应温度，但 由于成膜速率大，易导致膜结晶 溶或不溶的物质溶解并且重结晶…。水热法是在 差，表面不均一，开裂等缺陷l，。 百余年前由地质学家模拟地层下的水热条件研究 1．3 水热法制膜设备 某些矿物和岩石形成原因，在实验室 内进行仿地 水热法制备薄膜的主要设备为高压釜。普通 质水热合成时产生 。 水热法的设备较简单 (如图 1) j，主体为不锈 水热法可分为水热晶体生长、水热合成、水热 钢密闭反应室，采用外加热基座或置于烘箱中加 反应 、水热处理、水热烧结、水热制备薄摸等，分别 热。特殊水热法的设备较复杂(如图2)j，除高 用来生长各种单晶、制备团聚度低的陶瓷粉体 、完 压釜体外，还需~HJtl电极和作用场，常采用~HJtl热 *基金项 目：国家杰出青年科学基金资助 (批准号 作者简介：黄晖(1975年 )，男，博士研究生 ．主要从事铁电和介电薄膜与器件的制备与研究 58 维普资讯 了用金属有机物分解而难 以制备致密薄膜；而且 水热法制备薄膜的设备简单，水热处理温度较低，