采用液晶光阀的氦氖激光准直控制.pdfVIP

维普资讯 第 31卷第 3期 光电工程 Vo1．31,No．3 2004年 3月 to．Electronic En~ineerin March，2004 文章编号：1003．50IX (2004)03．0019．03 采用液晶光阀的氦氖激光准直控制 曹益平，苏显渝，刘明健，刘晓丽 (四川大学光电科学技术系，四川 成都 610064) 摘要：激光光束的漂移，功率稳定性和激光光斑的强度分布对称性是影响准直精度的主要参数． 通过分析液晶光阀的特性，提出了一种智能型光束准直控制方法，可同时控制激光功率的稳定 性和光斑的强度分布对称性。利用热平衡技术，设计了一套温度实时反馈控制的准直装置．实 验结果证实了该方法的可行性和有效性。 关键词：激光准直；氦氖激光器；光束质量控制；液晶光阀 中图分类号：TN249 文献标识码：A CollimationcontrolforHe-Nelaserbasedonliquidcrystallightvalve CAoYi-ping，SUXian-yu,LIUMing-jian，LIUXiao-li (Opto-ElectronicsDepartment，Sichuan ersity，Chengdu610046。China) Abstract：Laserbeam shifting，powerstabilityandintensitydistributionsymmetryoflaserspotsale themainparametersaffectingcollimationaccuracy．Anintelligentbeam collimationcontrolmethodis proposed through analyzing the properties of liquid crystal lightvalve．The mehtod can simultnaeouslycontrolstabilityoflaserpowerandintensitydistributionsymmetryoflaserspots． A collimating unit isdesigned for temperature feedback conrtol in realtime by using htermal equilibrium techniques．Experimentalresultsdemonstrate the feasibilityna d effectivenessofhte mehtod． Keywords：La sercollimation：He·Nelasers；Laserbeam qualitycontrol：Liquid·crystallightvalves 引 言 激光准直技术已经在机床准直…、大型机械设备的装调 ，形位误差测量等领域得到广泛应用 。在 这些应用中激光束被用作必要的长距离参考光线，激光准直光束的功率不稳定，将导致参考光线的漂移， 激光光斑的强度分布不均匀将使参考光线中心难于确定，从而影响准直精度，为此，人们在控制激光准 直 光束的漂移方面做了许多工作，最典型的控制方法是采用闭环稳功率法。众所周知，激光器点亮后， 由于放电管自身管体、放电管内外存在不稳定的温度梯度以及激光管材料的不均匀性等因素的影响，造 成激光器谐振腔两反射镜相对位置变化，从而引起激光束的漂移，激光输出功率不稳定，激光光斑形状 不稳定。如果在激光管上绕上加热线圈，在预热时给激光管主动加热到一定温度使激光管周围相对均匀 并建立起局域热平衡，然后通过分时探测输出激光功率，用相邻两输出激光功率的差反馈控制加热，即 可在稳定激光输出功率的同时，控制激光器腔长，降低激光束的漂移 。 收稿 日期l2003—07—21： 收到修改稿 日期l2003一l1—27 基