大尺度二维直线度测量仪的研制.pdfVIP

维普资讯 第31卷第9期 光 电工程 Vo1．：；1．No．9 2004年 9月 0DtO．Electronic Enzineerin Sep，2004 文章编号：1003．501X (2004)09—0057—04 大尺度二维直线度测量仪的研制 曹益平，刘明健，刘晓丽，苏显渝 (四JlI大学光电科学技术系，四JlI成都 610064) 摘要：研制出一种新的基于离轴成像技术的远距离、大范围二维直线度测量仪。仪器的直线基准 为整形的十字线激光光束，光电二维位置敏感元件采用互相正交的线阵CCD，所设计的带有狭缝 的离轴光学系统，避开激光十字线光束的能量中心，以使线阵CCD输出信号不会出现饱和现像， 从而扩大了测量距离，保证了测量精度。该仪器能在 0-20m测量范围连续测量二维直线度，其直 线度可达0-70mm，精度优于0．1mm。实际的多次室外环境测量表明，该仪器可适应不同天气环 境下的野外作业。 关键词：二维直线度测量；激光准直；大尺度；线阵CCD 中图分类号：TH741 文献标识码：A Developmentofaninstrumentformeasuringlargerange2-D straightness CAOYi-ping，LIUMing-jian，LIUXiao-li，SUXian-yu (DepartmentofOpto-Electronics，SichuanUniversity，Chengdu610064，China) Abstract：Anew longdistanceandlargerangetwodimensionalsrtaightnessmeasurementinstrument basedonoff-axisimagetechniqueisdeveloped．Thebeelinereferenceoftheinstrumentisashapedand alignedcrosslaserbeam．Twoorthogonallinera CCD raeusedaselecrto—optical2一D positionsensitive elements．Thedesignedoff-axisopticalsystem withslitscanevadetheenergycenterofcrosslaserbeam SOthatsaturationwillnotoccurinoutputsignaloflinearCCD．Themeasurementrangeisenlragedand themeasuringaccuracyisensuredbythismean．Itcancontinuouslymeasurethesrtaightnessfrom 0m to 20m，thescopeofthestraightnesscanexceeds70mm withprecisionof0．1mm．Themultipleoutdoor measurementsshow thattheinstrumentcansuittOfieldoperationunderdifferentclimateenvironments． Keywords．Two—dimensionalstraightnessmeasurement；Laseralignment；Largerange；LinearCCD 己Il 言口 激光准直法测量二维直线度时，通常以点光源作直线基准，以二维位置敏感器件(PSD)或面阵CCD来 跟踪光线的能量中心完成测量 ；或在成像系统中插入分光棱镜和柱面镜将光点整形成两一字线形，分别由 线阵位置敏感器件(PSD)或线阵CCD来跟踪一字线形光线的能量中心完成测量 。在一定的测量距离和测量 范围内，这种测量方法能很好的满足测量要求，但在长距离、大范