大功率半导体激光器全固态风冷散热系统.pdfVIP

维普资讯 第31卷增刊 光电工程 Vo1．31，Sup --20-04年,12．月． Qpto-ElectronicEngineerin Dec，2004 IA --。 。 ‘。一 _ _ - — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — — ～ 文章编号：1003—501X(2004)Sup一0114—03 大功率半导体激光器全固态风冷散热系统 张云鹏 1,2，套格套 一，尧 舜 一，陈 平 ，王立军 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理开放实验室 ，吉林 长春 130033； 2．中国科学院研究生院，北京 l00o39) 摘要：设计并制作 了一种全固态大功率半导体激光阵列恒温散热系统。它利用半导体制冷器对大 功率半导体激光阵列吸热，然后经由风冷散热。经测试，单bar激光阵列连续输出功率达到15．28W， 双bra阵列输出达27．8W 时，全部达到风冷散热控温精度±o．1℃；当环境温度达到45℃时，仍然 能够保证激光阵列的正常使用。 关键词：半导体激光器阵列；大功率激光器；散热系统；环境温度 中图分类号：TN249 文献标识~i-q．A Fullsolid-statecoolingsystem forhighpowersemiconductorlaser ZHANGYun．peng，一，TAO Ge．taoI,2YAO Shun ，CHENPing，WANGLi-jun (1．LaboratoryofExcitedProcesses，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics， theChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China； 2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences，BeijinglO0o39，C．hina) Abstract：A fullsolid—stateconstanttemperaturecoolingsystem forhighpowersemiconductorlaser arrayisdesignedandmanufactured．Theheatofhighpowersemiconductorlaserarrayisabsorbedbya semiconductorrefrigeratoranddissipatedbyaircooling．Throughtest，thecontinuousoutputpowerof singlebra laserarray can be up to 15．28W and double—barlaserarray canbeup tO27．8W ．The temperaturecontrolaccuracyis±O．1℃ whenfullair-cooledheatsinkeffectisattained．Highpower semi conductorlaserarraycannormallyoperatewhenambienttemperatureisupto45~C． Keywords：Semi conductorlaserarrays；HighpowerlasersCoolingsystem；Environmentaltemperature 引 言 阵列是提高激光器输出功率的有效途径，但功率密度和热耗成为限制其功率进一步提高的主要因 ¨。 半导体激光器的墙插效率最高已经超