导电硅橡胶电极片上的介质上电润湿特性.pdfVIP

第36卷第4期 光电工程 V0ll|36．No．4 2009年 4月 Opto-ElectronicEngineering April，2009 文章编号：1003—501X(2009)04—0146—05 导电硅橡胶 电极片上的介质上电润湿特性 梁忠诚，李 菁，信恒杰，杨 鹏，陈 陶，赵 瑞 (南京邮电大学 光电工程学院 微流控光学技术研究中心 ，南京 210003) 摘要：采用特定的 导“电硅橡胶基片／绝缘膜层”微透镜阵列内芯材料，研究其表面的介质上电润湿(EWOD)特性。 实验获得了不同绝缘层厚度和相对介电常数下导电液滴接触角随电压变化的图形，得到了不同材料组合的EWOD 特性 实验结果表明，导电液滴接触角的余弦值随电压的增大而增大；在硅橡胶绝缘层厚度不同的情况下，绝缘 层厚度与接触角余弦值变化率成反比；在绝缘层相同厚度情况下，硅橡胶绝缘层性能要优于派瑞林绝缘层。相关 结论为新型微流控光学变焦透镜阵列器件的设计和研制提供了重要依据。 关键词：导电硅橡胶；介质上电润湿；绝缘层参数 中图分类号：TN204 文献标志码：A PropertiesofElectrowetting-—on--dielectricontheConductive SiliconeRubberElectrodeSubstrate LIANGZhong—cheng，LIJing，XINHeng-jie，YANGPeng，CHENTao，zHAoRui (CenterofOptofluidicTechnology，Opto-ElectronicEngineeringCollege，NanjingUniversityofPostsand Telecommunications，Nanjing210003，China) Abstract：ThepropertiesofElectrowetting-on-dielectric(EWOO)onthecore—surfaceofoptofluidiclens—arraywith specific c‘‘onductivesiliconrubber／insulationfilm”materialareoneoftheimportantresearchtopicsinoptofluidics．In thiswork，theeffectofinsulationthicknessandrelativedielectricconstantofinsulatinglayeronthecontactangleof conductive dropletswereanalyzedin detail．Then，thecharacteristicsofelectrowetting-on~l：ielectricwith different insulatinglayermaterialswerealsotested．Theexperimentalresultsshow thatconatctangleincreasesasthevoltage increases．Thecontactanglevariesinverselywhenchangingthethickn essoftheinsulatinglayenAtagiventhickness，it wasalsoobservedthatthedielectricconstantofconductivesiliconurbberisofbetterperformancethanParylene．These conclusionsarevaluableinthefieldofthedesignanddevelopmentofnew typesofoptofluidiczoom lensarraydevices． Keywords：conductivesiliconerubber；el