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维普资讯 第28卷第5期 光电工程 Vo1．28．No．5 2001年 10月 Oct，2O01 文章编号：1003—501X (2001)05—0035—05 高精度编码器的裂相指示光栅 吴 凡 (中国科学院光 电技术研究所，四川 成都 610209) 摘要：通过动态莫尔条纹方程 ，用数学分析的方法，并结合 6BJ280等高精度绝对式光电轴角编 码器，详细讨论了裂相指示光栅的布局特点、光电信号相位补偿原理，以及对编码器精度的影响。 关键词：光电编码器；裂相指示光栅；莫尔奈纹 中图分类号：TN762 文献标识码：A TheSplitPhaseIndicativeGratingsforHigh·PrecisionEncoder W U Fan (InstituteofOpticsandElectronics．ChineseAcademy ofSconceChengdu610209，China) Abstract：W ithmathematicalanalysisfortheequationofhtedynamicMoirefringesandcombining wihtGBJ280highprecisionabsolutephotoelectricencoder,htelayoutcharacteristicsofthesplitphase indicativegrating，htephase compensatingprincipleofphotoelcetricencnderand hteireffcetson encoderaccuracydrediscussedindetail Keywords：Photoelectricencoder；Splitphaseindicativegratings；Moirefringes 引 言 近几年因国防，科研等领域的需要，以圆光栅为基础的光电轴角编码器的应用越来越广泛，且对编码 器的分辨力和精度的要求也越来越高，现国外已有分辨力为 0叭 ，精度达 0．036的编码器的报道；而我 所研制的JC．1精密测角仪…的增量式光 电轴角编码器 (角度基准器)分辨力为002，测角精度 6r≤0．04； 研制的EOMS630光 电经纬仪等装置使用的GBJ280等高精度绝对式光电轴角编码器分辨力达 0．078，测角 精度 6r40．5。高精度的编码器需要高质量的光电信号，如正弦一性、正交性等。本文仅从裂相指示光栅的 角度讨论其对光 电信号正交性 以及对编码器精度的影响。 关于裂相指示光栅，文献[2]从几何角度分析了裂相光栅的一些特性，得到了一些有价值的结论；文献 3【]从几何光学和栅线束方程出发，主要对圆光栅莫尔条纹位置与轴晃和动光栅偏心的位置关系以及对转角 误差的影响进行了详细的讨论和分析，但没有涉及裂相光栅和光敏元件位置对光电信号正交性的影响，为 了进一步分析裂相指示光栅的原理，本文通过动态的莫尔条纹方程，用数学分析的方法，详细讨论裂相指 示光栅的相位补偿原理以及对编码器精度的影响。 1常用裂相指示光栅的布局方案 现在的光 电轴角编码器大多使用透射式直接接收的双光栅光学系统，所用光栅多为径 向圆光栅，光栅 收稿 日期：200】-04—02：收翻修改稿 日期：200卜0509 基金项且：国家863高技术资助项 目。 作者简介 ：吴 凡(1957一)．男(Lg族)．四川忠县^．副研究员．主要从事精密机械 光电轴角编码器的研兜 维普资讯