原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
光电工程
第4O卷第2期 光电工程 、，01．40．No．2
2013牟 2月 Opto—ElectronicEngineering Feb，2013
文章编号：1003—501X(2013)02—0093～07
基于PSS刻蚀平台的真空微气压控制研究
林永奔 一，李勇滔2，李超波2，夏 洋2，汪明刚2，陈 焰
(1．昆明理工大学 信息工程与 自动化学院，昆明 650500；
2．中国科学院微电子研究所 微电子器件与集成技术重点研究室，北京 100029)
摘要：针对 当前图形化蓝宝石衬底 ICP干法工艺刻蚀流程，对工艺腔室真空环境微气压调节非线性特征进行 了动
态监测，本文提出了一种基于 自适应模糊 PID的微气压控制算法 该算法利用质量流量计MFC及真空泵组减压
阀的参数调节，实现真空环境微气压调节。通过Matlab仿真及刻蚀流程气压控制测试表明，工艺腔室的真空微气
压 自适应模糊PID控制基本符合仿真结果。在气压为0．13-20Pa的真空环境下，工艺腔室气压动态控制效果良好，
具有鲁棒性强、超调量小、过渡时间短等特点，满足工艺刻蚀流程中正常刻蚀速率、选择比及均匀性等指标。
关键词：图形化蓝宝石衬底；微气压； 自适应模糊PID控制；Matlab仿真
中图分类号：TP273+．2 文献标志码 ：A doi：10．39698．issn．1003．501X．2013．02．015
ResearchofVacuum M icro-pressureControlling
BasedonPSSEtchingPlatform
LIN Yongben，一，LIYongtao2 LIChaobo ，XIAYang2 WANG Minggang ，CHENYan
，
，
(1．InformationEngineering＆AutomationCollege，
KunmingUniversityofScienceandTechnology，Kunming650500，China；
2．KeyLaboratoryofMicroelectronicsDevices＆IntegratedTechnology．
InstituteofMicroelectronicsofChineseAcademyofSciences，Beijing100029，China)
Abstract：Amathematicalgorithm basedontheadaptivefuzzyPIDwasintroducedtomonitorandregulatethenonlinear
micro-pressurefeatureofinductivelycoupledplasma(ICP)vacuum chamberinhteprocessofcurrentpa~emed
dry-etchingofsapphiresubstrate．Thisalgorithm realizeshteregulation ofmicro-pressureofchamberinthevacuum
conditionflexiblythroughadjustnigvariablesofhteMassQualityFlowmeter(MFC)andcompressionreleasevalve
connectedwiht vacuum pump．TheresultsofMatlabsimulatio
文档评论（0）