基于单缝衍射原理的圆度误差测量方法.pdfVIP

维普资讯 第34卷第3期 光电工程 Vo1．34，No．3 2007年3月 Opto—ElectronicEngineering March，2007 文章编号：1003—501X(2007)03—0140—05 基于单缝衍射原理的圆度误差测量方法 花世群，骆 英，赵国旗 (江苏大学 理学院，江苏 镇江 2l20l3) 摘要：提出了一种全新的圆度误差光学自动测量方法。新方法基于单缝衍射原理，利用工件的圆度误差来改变衍 射单缝的宽度 ，进而改变衍射条纹的间距。在测量单缝衍射中央明纹的宽度时，提出了用最小二乘法对测量到的 衍射图像的光强分布进行二次曲线拟合，并由拟合得到的数学表达式，确定衍射暗条纹的精确位置。由导出的工 件圆度误差与单缝衍射 中央明纹宽度之间的关系，用最小二乘法对工件的圆度误差进行了评定．测量结果表明， 新的圆度误差测量方法是可行的，圆度误差的相对不确定度小于 1．4％，并且测量系统具有操作方便、精度高的优 点，新方法也可应用于锥角、直线度误差等其它几何量的精密测量中。 关键词：光学测量；圆度误差测量；单缝衍射；最小二乘法；曲线拟合 中图分类号：TB96 文献标识码：A M ethodofmeasuringroundnesserrorbasedonslitdiffraction HUA Shi—qun，LUOYing，ZHAO Guo—qi (FacultyofScience，JiangsuUniversity,Zhenjiang212013，China) Abstract：A new opticalmethodforautomaticmeasurementofroundnesserrorwaspresentedbasedonthediffraction principleofaslit．Inmeasurementsystem，theslitwidthwaschangedwiththeworkpieceroundnesserror,SOthedistances ofdiffractionfringeswerealtered．Inordertocomputethewidthofthecenterbrightstripeaccordingtotheaccurate positionofdiffractiondarkfringes，theleastsquaremethodwasusedtofitquadraticcurvesoftheintensitydistribution． Withtheleastsquaremethod，theroundnesserrorcouldbeevaluatedbytherelationshipbetweenworkpieceroundness errorandthewidthofthecenterbrightstripe．Themeasuringresultprovesthefeasibilityofthenew method．Therelative uncertaintyoftheworkpieceroundnesserrorislessthan 1．4％．Themeasuringsystem iseasytooperateandhashigh measuringaccuracy．Thismethodcanbeappliedtomeasuretheconeangleerrorandthealignmenterror,etc． Keywords：Opticalmeasurement；Roundnesserrormeasurement；Single·slitdiffraction；Leastsquaremethod；Curve fitting 引 言 圆度误差是指待测的实际圆轮廓对理想圆的变动量，它是高精度回转体零件的一项重要精度指标，圆 度误差的测量已有