基于对称判据的白光干涉零光程位置拾取算法.pdfVIP

第40卷第 10期 光 电工程 vo1．40．NO．10 2013年 10月 Opto—ElectronicEngineering 0ct．20l3 文章编号：1003—501X(2013)10—0001—05 基于对称判据的白光干涉零光程位置拾取算法 蒋大钢 ，杨远洪2，秦开宇 (1．电子科技大学 航空航天学院，成都 611731； 2．北京航空航天大学 仪器科学与工程学院，北京 100083) 摘要 ：高性能自光干涉测量技术的发展对零光程位置精确拾取提出了更高的要求。基于白光干涉光强对称分布特 点设计了对称性判据，并根据此判据和实际采样数据的离散性，提出了一种白光干涉零光程位置拾取算法。算法 分为两步：首先，从数据中寻找最大测量峰值，然后搜索最大峰值附近的子峰，利用对称性判据及其变化趋势来 确定最接近的零光程位置的子峰；接着，由于采样点的离散性，需要进一步对搜寻到的子峰进行局部数据拟合， 通过拟合峰值最终确定零光程干涉峰值和零光程位置。此时对称性判据还可用于评估零光程拟合位置与真实位置 间距。通过实测数据处理和算法对比实验表明：该算法能够进一步提高零光程位置辨别能力和拾取精度，保障高 性能白光干涉测量设备的超精密测试需求。 关键词：白光干涉；数据处理；精密测量 中图分类号：TN929．1 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003—501X．2013．10．001 A ZerooPD LocationAlgorithm forW LI BasedOiltheSymmetryCriterion JIANGDagang，YANGYuanhong，QINKaiyu (1．SchoolofAeronauticsandAstronautics， UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu611731，China； 2．SchoolofInstrumentationScience＆@ to—electronicsEngineering,BeihangUniversity，Bejiing100083，China) Abstract：A symmetry criterion isdesigned according to theirradiance distribution characteristicofW hiteLight Interference(WLI)．A zeroOpticalPathDifference(OPD)locationalgorithm ispresentedbasedonthesymmetry criterionanddiscretenessofsample．Thelocationalgorithm consistsoftwosteps：1、Usingthesymmetry criterionandits variationtrendtosearchandlocatethemeasurementsub—peakaroundthemaximalvalueinthedata，whichistheclosest tothezeroOPD；2)UsingfittingmethodtofurtherlocatethezeroOPDandpeakvaluebasedonthelocatedsub—peakin thestep1．Thelocationvaliditycanalsobeevaluatedbythesymmetry criterion．Theexperimentofdataprocessingand algorithm comparisons