线阵CCD在干涉条纹检测中的应用.pdfVIP

维普资讯 ～ j．一留 第l4卷第 3躺 青 岛 大 学 学 报 V0L l4 O 3 090年 9月 JOURNAL0FQINGDAOUNIVERSITY Sep l999 文童埔号 ；1006—9798(1999)03—0096—03 线阵CCD在干涉条纹检测中的应用 √ 7 范延滨 ，于正河：，徐文敏 ，王正彦 ，王喜山 、 、 ～ — — 一 一 (1．青 岛大学计算机系，青岛266071) 摘要 ：讨论了应用 电荷耦合器 (CCD)实现对干涉条纹动态跟踪的技术和方法，并给出了应用实例。 中篙图雾分类号：T翌P2]6 文献标识码码：：A检’l一防；{ 屯孚 1CCD检测原理 屯钧耦合器 路脉冲的驱动下工作 1．2 DI40的特性 在光学相干测量技术 中，被测物理量的测量是 图2给 出了DI4O的内部结构原理 图Ez_-。它由 通过测量干涉条纹的移动或变化来实现的 固此，对 象元阵列(光积分单元)、转移栅、移位寄存器、输入 干涉条纹的动态检测 是光学相干测量技术的核心 电路、输 出电路和溢洪电路等六部分构成 ， 对不同的干涉系统和不同的应用场合有不 同的测量 方法 ，但问题的难点是如何在保证精度的前提下实 现动态跟踪 。我们在 “酒精浓度测量仪”中，采用 了 CCD器件实现了对圆形干涉条纹的动态跟踪口] 1．1 CCD检测框 图 图1给出了CCD检测系统框 图 待测介质流过 巾】巾2 巾， 法布里一珀罗(F—P)干涉腔．He—Ne激光经光纤人射 到F—P腔上，出射相干光经成像系统聚焦到CCD象 囤 2 DL40的 内部结构 元平 面上 。 D40象元阵列 由256个光敏单元 (象元)组成， 每个象元长 3．84Illm、宽 20a,m、有效面积为 l0pm ×20 m．象元之间的中心距 l5 m．分辩率 ．符合测 量的精度要求；光谱响应范围为0．4．5～1．113]，选用 He—He激光器作为光源 ，其波长为632．81113]，符合 要求 ；响应度为0．2V／(~J／cm。)有较高的灵敏度 ，符 合探测干涉条纹的要求 ；最佳工作频率为几十千赫 周 1 CCD检谢系统框固 兹至一兆赫兹 ，满足系统连续动态检测的速度要求 CCD是以电荷为信息，它的基本功能是信息电 象元阵列 中的各个象元是彼此独立 的势阱、它能存 荷的产生 、存储和转移 。CCD能把空间域对称分布 储光生电荷 ；象元阵列与模拟移位寄存器并行排列， 的二维光学图像转换成时间域离散分布的电平信 由转移栅 s控制沟联 ；模拟移位寄存器由25