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纳米硅管 沙健“2，牛俊杰2，马向阳2，张孝彬3，徐进2，杨青2，杨德仁2 浙江大学物理系， 浙江大学硅材料国家重Jii实验室， r 浙江大学材料科学与工程系 摘要：使用模板和化学气相沉积技术，我们成功获得纳米硅管。其直径约为60 纳米，长度约为5微米。管壁结构大部分为多晶。 自从1991年纳米碳管问世以来1，人们对准一维纳米材料，特别对 碳和硅的准一维纳米材料产生了EI于浓厚的兴趣““4。纳米硅线已经 制矫出来”2，而纳米硅管的制备方法还在探索之中。我们在获得阵列 化单晶纳米硅线的基础上，使用模板技术”“4和化学气棚沉积方法获 得纳米硅管。 首先，我们用磁控溅射法把金作为催化剂镀到模板上，模极上纳米 通道的平均直径为60纳米。然后把模扳放入一个石英管式炉。对石英 管抽真空使真空度达20Pa，再对石英管加热。当温度达到620。C时， 把氩气、氢气、硅烷气按照10：2：1的比例混合输入石英管，并使总 气压保持在1450 Pa。硅烷气在管内分解成硅和氢，硅原子就沉积到 模板上。在实验的全过程中，石英管内的气压、温度和气体I：EN女fi终 保持不变。实验结束后，取出模板，放入稀盐酸中溶解。最后，沉积 在模板纳米通道中的纳米材料被分散到溶液中。接着，按常规方法， 能量损失谱(EDX)分析。 样品的TEM分析结果如图一(a)所示，一个具有“壳”、“核”边 界结构的一维材料清晰可见。它可能是一个管，假如“核”只是一个 空管；也可能是一个同轴电缆结构，假如“核”是实心的。如果是后 者，只有一种可能，那就是“核”是硅线，壳是氧化硅。但是样品的 选区电子衍射图(SAED)给出的是硅而不是氧化硅的信息。高分辨电子 显微镜(HRTEM)的分桐结果表明，“壳”的结构以硅晶体为主，伴有 图一(b)所示。图二是样品的EDX分析，由图可见，硅元素对应的峰 值是最高的，说明样品的确是硅材料，而不是别的东西。其它元素的 来源图二中给出了说明￡所以，如果样品是实心结构，“核”就不可能 是硅材料，否则，硅矛蹲睦之间不会有界面。“核”也不可能是氧化硅， 因为EDX分析中的氧峰极弱。事实上，在我们使用CVD制备纳米硅线 时，氧化硅也很难形成。样品上的氧可能来源于其表面氧吸附。因此， “核”既不是硅，又不是氧化硅，就只剩F一个可能：核是空管。图 一显示的是一个纳米硅管。从图三还可看到，在我们的实验中，有纳 米硅线和纳米硅管共存。 致谢：本工作得到国家自然科学基金和浙江省自然科学基金的资助， 得到中科院合肥固体物理研究所张立德教授、孟国文教授、蔡伟平 教授在学术上的无私帮助。在此，一并表示衷心感谢! 参考文献 I．s．Iijima，Nature(London)354(1991)56． to Duan，Yu M．Lieber,LeHersNature，vol 2．XiangfengHuang，YiCui，JiangfangWangCharles 409，4Jan(2001)66—69． 3．SuperstrongNanotubesShowTheyAresma^Too；Science，vol 4．Z．0．Liu，W．Y．Zhou，L．F．Sun，D ChemicalLetters Physics 341(2001)523—528． Materials，VOl12，No．18，15 Sep(2000)1343-1345， S，T．Lee，AdvancedMaterials，vol13，No．8，18 6．W．S．Shi，Y．KZheng，N．Wang，C．S．Lee，and Apt(2001)591-594． Letters