平面研磨中修盘工艺磨削轨迹分析及其优化.pdfVIP

平面研磨中修盘工艺磨削轨迹分析及其优化.pdf

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2007年11月 第八届全国摩擦学大会论文集 November2007 平面研磨中修盘工艺磨削轨迹分析及优化 卢万佳 李维民 杨华 (深圳开发磁记录殷份有限公司厂东深圳518035) 摘要:为提高硬磁盘基片平面研磨的加工品质,本文利用计算机仿真对其研磨盘的修盘工艺进行运动学模拟,通过统计修盘 器磨片相对研磨盘所划出的轨迹分布,提出了轨迹密度的概念,通过实验证明,轨迹密度可以准确的表征修盘后研磨盘的大致形貌, 对优化修盘转速配比和修盘器结构具有重要的指导意义。 关t诃t精密平面研磨;修盘器;轨迹密度 Onthe and ofWearTrack of AnalysisSynthesis Stone Processfor GrindingDressing Computer HardDriveDiskSubstrate Lu Lee Hua WanjiaWeiMingYang Kaifa (Shenzhen CO,LIT).) MagneticRecording Abstract:Tothe ofthedisk is and the improve substrate,thedressingprocessanalyzed by computer quality optirnized thebasisofthekinematicalmodelofthe distributionofthedressertracksissimulated.Astheresult planetlappingm“bme,the numerically ofthe distributioncan stoneafterthe experiment.thetrackspreferablysimulatetheprofileofthegrindingdressingprocess distribution Keywords:finegrinding;dresser;track 精密平面研磨是精密加工中最重要的方法之一, 整研磨盘,面对新型号的机床,还需要重新利用大量 在制造业占有非常重要的地位,以硬磁盘基片为例, 的试验进行摸索,费时费力。基于上述原因,我们建 就是通过精密研磨工艺获得极高精度的盘基片宏观平 立了修盘机构的运动学仿真模型,将修盘器上金刚石 面度以及盘片厚度。硬磁盘基片的研磨盘主要由磨粒 磨片简化为一点,并计算得到磨片相对磨石划出的轨 和粘结剂两种成分组成,通过与基片的相对运动实现 迹,统计在径向方向上各个区问内轨迹线与半径相交 材料去除。在平面研磨过程中,研磨盘的精度是决定 的交点个数,以其表征轨迹的分布密度。就理论而言, 研磨零件品质的重要因素。但是研磨盘平板经过一段 修盘器完全靠金刚石磨片对磨石进行修整磨削,因此, 时间研磨后,由于磨损强度不均匀会导致研磨盘不平 假设修盘压力分布均匀,磨片轨迹划过的范围和频度 整,造成同批次盘片质量参数不一致;而且表面磨粒

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