磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜及其特性研究.pdfVIP

摘要 摘要 掺铝氧化锌(azo)薄膜是一种性能优良的透明导电薄膜，它的优点主要有：在 可见光范围内有较高的透射率，较低的电阻率，无毒性，易刻蚀，化学性能稳定， 材料来源丰富、价格便宜等。AZO膜在太阳能电池、液晶显示器、光电二极管、防 静电等领域中，有着广泛的应用前景。因此，本论文就制备工艺对磁控溅射制备的 AZO薄膜特性的影响，AZO与金属双层薄膜组成的透明导电薄膜的制备，以及AZO 薄膜的化学腐蚀特性等方面展开研究。主要内容包括： 首先，采用射频磁控溅射方法在玻璃基片上沉积AZO薄膜，研究溅射功率(250W 到400W)对薄膜的结构、形貌和光电学性质的影响。结果表明，所有样品的均方根 表面粗糙度均小于10niIl，表面平均颗粒尺寸在60至U130rllT／之间。载流子浓度随溅射 功率的增加是先增加后减小，而迁移率是单调增加，电阻率则从250W时的24．6x104 10‘4Dcm。 f2cm减d,N400W时的7．2x 其次，研究溅射过程中氧气流量(F02)对制备的AZO薄膜特性的影响。XRD