无机质谱法在固体直接分析中的应用.pdfVIP

第 1卷第 1期 中国无机分析化学 Vo1．1，NO．1 2O11年 3月 ChineseJournalofInorganicAnalyticalChemistry 13～ 23 无机质谱法在 固体直接分析 中的应用 张伯超 杭 纬 黄本立 (厦 门大学化学化工学院，福建 厦 门361005) 摘 要 本文 归纳了无机质谱法在 固体直接分 析中的应用 ，并详 细阐述 了辉 光放 电质谱法 (GDMS)、二 次离子质谱法 (slMs)、激光溅射 电感耦合等离子体质谱法(LA—ICPMS)和激光 电离质谱法 (LIMs)四种 可用于 固体样 品直接检测的无机质谱法 的检测原理、应用 以及各 自的优缺 点。 关键词 无机质谱 法 ；固体分析 ；应用 中图分类号 ：0657．63：0655．9 文献标识码 ：A 文章编号 ：2095—1035(2011)01—0013一O11 Theapplicationofinorganicmassspectrom etry in directsolid analysis ZHANG Bochao，HANG W ei。HUANG Benli (CollegeofChemistryandChemicalEngineering，XiamenUniversity，Xiarnen361005，China) Abstract Inorganicmassspectrom etryplaysan importantroleintheanalysisofsolidsamples．Inthispa— per，fourmassspectrometrytechniquesincludingglow dischargemassspectrometry (GDMS)，secondary ionmassspectrometry (SIMS)，laserionizationmassspectrometry (LIM S)，andlaserablationinductively coupledplasmamassspectrometry (LA ICPM S)arereviewed．Theprincipleofinstrumentalanalysis，ap— plications，advantagesandshortagesforeachtechniquearedegcribed． Keywords inorganicmassspectrom etry；solidanalysis；application 1 引言 2 固体直接分析方法 固体样品中元素的分析在冶金 、地质 、矿产 、环 目前 ，大 多数 固体样 品元素的直接分析方法都 保、国防和半导体工业等领域具有极其重要地位 ，固 是基于原子发射光谱法 (AtomicEmissionSpec— 体样品通常采用强酸溶解消化 ，然后 以原子光谱或 troscopy，AES)和 X射线 荧光法 (X—rayFluores— 质谱法进行检测。近年来 ，固体样 品的直接分析方 cenceSpectroscopy，XFS)。但光谱法需要使用标 法越来越受到人们 的关注 。与 固体溶解分析法相 准样品进行校准，且所得的谱图背景噪声较高，检 出 比，直接分析法能够节约大量 的样品制备时问，特别 限有限。相 比而言 ，质谱分析法具有定性能力强、灵 是在固体样品难以溶解或毒性、放射性很强的情况 敏度高、检测限低、测量线性 范围宽等特点 ，自出现 下 ，固体元素直接分析法具有其他方法无法 比拟 的 以来便备受青睐。而与质谱联用的固体元素直接分 优越性。另外 ，直接分析法免除了样 品溶解过程 中 析方法也是