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年 月
311! #3 航空精密制造技术 3456 7889
第 卷 第 期 :;6 9 :6 =
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精密加工
不同转速下超精密车床主轴轴向振动的实验研究+
李丽伟， 董 申， 程 凯
!哈尔滨工业大学，哈尔滨 #$$$%
摘要 针对 型超精密车床，进行了主轴轴向振动随电机转速变化规律的实验研究，不同转速下主
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轴轴向振动信号的傅立叶!**+%谱表明，主轴系统与电机同频振动，在转速为,$$-.$$/0 123 时振动最大，该
转速范围之外的主轴轴向振动幅值随转速的提高而增大。
关键词 超精密车削； 主轴系统振动； 主轴轴向振动
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［中图分类号］,-’#./! ［文献标识码］0 ［文章编号］#11!$’’#2311!415$111 #$1!
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主轴系统振动是影响超精密加工表面形貌的一 表面质量，产生这一现象的主要原因是主轴电机转
个极为重要因素，它主要包括轴向窜动、径向跳动 速不同所引起的轴系振动也不同 $’% 。本文通过
和角度摆动 种基本形式，其中主轴轴向振动作用 型超精密车床不同转速下主轴轴向振动信
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于超精密端面切削的误差敏感方向，会引起端面表 号的检测及傅立叶谱，研究主轴轴向振动随电机转
面的平面度误差和对工件轴线的垂直度误差#$!% ，其 速变化的规律。
振动的低频分量形成表面波纹度特征，高频分量形
成表面粗糙度特征。为控制超光滑端面表面质量，
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