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Cu空心微球的精密连接技术.pdf
第26卷第5期 强 激 光 与 粒 子 束 V01.26,NO.5
2014年5月 H1GHP()WERT。ASERANDPARTlCT。EBEAMS 4
May,201
Cu空心微球的精密连接技术。
杨蒙生, 邢丕峰, 郑凤成, 谢 军, 刘 学, 马小军, 易泰民
(中国工程物理研究院激光聚变研究中心。四川I绵阳621,900)
摘 要: 以Cu作为代用材料,通过分解实验方法,研究了扩散连接各工艺条件对靶丸参数的影响关系,
MPa,时间60
获得适宜的工艺参数(温度小于600℃,压强小于6 rain)。据此,实际连接Cu半球并制备出Cu
空心微球。采用白光干涉仪、扫描电子显微镜、微米x射线断层扫描机等仪器对样品进行测试,结果显示连接
界面无明显缺陷,内表面粗糙度小于50nHi,内球面直径差值小于20邮、,连接强度满足机械加工要求。
关键词:惯性约束聚变; 空心微球;精密连接;铜
中图分类号: TGl56.9 文献标志码: 人doi:10.11881/HPI.PB201126.052008
丸(空心微球),使其产生内爆以瞬问压缩燃料至高温高密度状态而实现点火[1]。靶丸是点火靶的核心部件,其
材料特性及质量参数对物理过程有至关重要的影响,靶丸设计及精密制备是ICF研究中的关键性问题。Cu
掺杂Be材料(Be(Cu))具有原子序数低、强度高、密度较大、热导率高等优点,因此在NIF点火靶、Z
pinch、体
点火双壳层靶中均被选作主要的靶丸材料瞳。1。。]。目前已报道的Be(Cu)靶丸制备方法主要有两种:磁控溅射法
及机械加工/扩散连接方法。通过前者可以实现Cu在Be中的梯度掺杂,在NIF点火靶制备中作为主要技术
途径,而后者则具有微观缺陷少、无去芯轴过程等优点,特别在双壳层靶及Zpinch金属靶丸的制备中是非常
有价值的技术之一[=。““。该方法首先加工两个空心半球,再通过扩散连接将其精密焊接成一体,最后加工出外
球面而得到完整靶丸。扩散连接是在真空环境下将待连接材料加热加压使其界面发生微观塑性变形及原子热
扩散从而实现冶金结合的连接技术[1“,对于靶丸质量有重大影响,为本方法的关键环节。由于物理需求的特
殊性,需要有针对性的建立适宜工艺。相对于Be材料,Cu具有低毒、廉价的优点,其本身在ICF制靶中也有
广泛的应用。研究Cu半球精密扩散连接技术能够显著节约成本、提高效率,对于靶丸制备技术研究具有重要
的现实意义。
从靶制备到物理实验结束,靶丸需完成高压气体密封、烧蚀、对称压缩等多项功能,相应的对靶丸参数(表
面粗糙度、球形度、保气性能等)提出了严格而特殊的要求。传统的扩散连接规范是针对普通块材连接需求制
定的,初步实验表明,在此条件下靶丸内球面严重变形、脱层、表面粗糙度剧增,远不能满足靶丸连接的特殊要
求。本文研究了扩散连接工艺条件对Cu靶丸表面粗糙度、形变、连接界面的影响,据此优化参数,获得高质量
靶丸。
1 实 验
在扩散连接过程中,加热温度和压强是最为重要的两个工艺参数,对样品连接质量及几何参数产生直接影
响[1…。具体到微球连接,加热温度将影响材料表面粗糙度及形变率,而压强将影响形变率。通过分解实验,逐
一研究上述因素对各项参数的影响,能够比较完整的掌握参数变化规律。据此合理选择工艺条件,实现Cu靶
丸的精密连接。
1.1粗糙度实验
首先将Cu材料车削成直径9mm、长度6mm的柱状体,然后通过单点金刚石车床精密加工其底面,做标
0。
min(真空度1
记并用白光干涉仪测
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