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PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究.pdf
年第 期( )卷
２３１５２ ２０１４ ２３ ４５
文章编号: ( )
１００１-９７３１ ２０１４ ２３-２３１５２-０５
PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究∗
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何 梅 徐 晓 冯 斌 王德苗 金 浩
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１．浙江大学 信息与电子工程学系 杭州 ３１００２７ ２．昆山万丰电子有限公司 江苏 昆山 ２１５３１３
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３．浙江大学 昆山创新中心先进电子专用设备研发中心 江苏 昆山 ２１５３００
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４．苏州求是真空电子有限公司 江苏 昆山 ２１５３００
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摘 要 采用直流磁控溅射工艺实现了 压电蜂 昂贵的银材料 生产成本高 由于银层与
PZT ３ PZT
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鸣片的金属化 分别研究了 , ,
Cr Cu A Ti Cu A 基片不匹配 导致电极层与基片的结合力差 这对于工
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/ 种复合膜系电极薄膜的微观结构和电学性能 ,
Cu A ３ 作在震动状态的蜂鸣片器件来说 无疑会影响器件的
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差异 并与 丝网印刷银浆再高温烧结 简称 丝印烧 . , 、
可靠性与寿命 因此 研究绿色环保的金属化工艺 降
”) . ,
结 金属化工艺进行了比较 研究结果表明 用溅射
、
低生产成本 提高金属化的品质无疑具有重要的现实
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, 、
金属化工艺制备的压电蜂鸣片 其电极膜层致密 均
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