SiC薄膜对纳米结构Ti拉伸和摩擦性能的影响.pdfVIP

第36卷 增刊1 稀有金属材料与工程 vol 36，su刚．1 RA刚EMFr札M 2007年 8月 A_兀孙tIALSANDENGINEERING 2007 August SiC薄膜对纳米结构Ti拉伸和摩擦性能的影响 许晓静，姜玉杰，陆树显，曹进琪，邵红红，高建昌 (江苏大学先进成形技术研究所，江苏镇江212013) 摘要：考察了sic薄膜对块体纳米结构钛力学和摩擦性能的影响。实验采用磁控溅射技术制备sic薄膜(样品台不 加温)，使用划痕仪测量界面结合力．采用拉伸试验机测量拉伸性能，采用摩擦试验机测量摩擦性能(对摩件为si，N．， 干摩擦)．采用sEM．EDAx观察分析微观组织。研究了薄膜(成涂层)对块体纳米材料力学性能的影响．并且获得了 一种兼具高强度、良好塑性和良好摩擦学性能的纯钛金属材料。研究结果表明，sjc薄膜不仅不会降低纳米结构Ti的 拉伸性能，而且能显著降低摩擦系数(从O．7到0．3)，大大提升抗磨性能。 关键词：sic薄膜；磁控溅射；纳米结构钛基材；拉伸性能；摩擦学性能 中图法分类号lTB43i’rol46．2勺文献标识码：A 文章编号：1002．185x(2007)s1．0911．04 1 引 言 制备薄膜。靶材为SiC、直径为60mm。溅射薄膜前 块体纳米结构钛具有许多杰出的性能，如高强 对基材和靶材进行反溅清洗以去除表面氧化物等杂 度、良好塑性、优异的抗蚀性和生物相溶性等，在生 质。薄膜溅射的实验参数列于表l。 物医用内植物产品、低温结构件等领域具有良好的应 用前景．但其摩擦学性能尚需进一步提升【“”。 表1 薄膜溅射的实验参数 l Table oftheSiC61ms 本实验采用磁控溅射技术在块体纳米结构钛表 Depositionparameters 面制各了sjc薄膜(样品台不加温)，考察了Sic薄 Background 2．5×10。 pressu∞，Pa 0．75 膜对块体纳米结构钛力学和摩擦学性能的影响。 worki“gg∞(argon)prcssur叽’a massnowrate，mL。min 65 A’go“gas 2实验方法 RFpowc删 200 Subst哺te R㈣钯mperm 试验所用基体材料为经大应变量变形加工制备的 tcmp口atWc／。C diB协毗“mm 72 块体纳