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2015-09-02 发布于湖北
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Ti-Mo吸气材料的性能特征研究.pdf

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Ti-Mo吸气材料的性能特征研究.pdf

第31卷第5期真空科学与技术学报 OF AND 2011年9、10月 CH矾ESEJOURNALVACUUMSCIENCETECHNOLOGY 629 Ti—Mo吸气材料的性能特征研究张艳。尉秀英毛昌辉李腾飞苑鹏杜军 (北京有色金属研究总院先进电子材料研究所北京100088) and Material CharacterizationofTi-MoGetter Development ZhangYah。，WeiXiuying，MaoChanshui，Li Jun Tengfei，YuanPeng，Du Elearonic Research Institute Materials，C,eneral for 100088，‰) (Institute矿Advanced Non-ferrousMetals，谢，|g AbstractAnovel of Ti-Mo materialwere toevaluate typeporous 7．5％(wt)getter developedbypowdermetallurgy the ofbulkTi-Mo microstmctumsand characteristicsofvarious pmporties getters．Its pumping gases，includingH2，N2， and and characterizedwith electronmi- Co，atdifferent，activation workingtemperatures，were X-mydiffraction，scanning andconventionalsurface of conditionsonits werealso croscopy impactspowdermetallurgy microstmctums probes．The studied．Theresultsshowthattheactivationand affectits in- operatingtemperaturestrongly gasabsorptioncapacity．For theactivation risesfrom500℃to ofthe at Starlce，as 700℃，theabsorption temperatureup gas capacityporousgetter roonl itremains whentheactivation increasesto increases，but temperature unchanged tempemttlreup 800℃．n吼曲its absorption onits