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不同厚度三倍频SiO2增透膜的设计、制备与改性.pdf
第28卷第l期 无 机 化 学 学 报 V01．28No．1
2012年1月 CHINESE OFINORGANICCHEMISTRY l19—124
JOURNAL
不同厚度三倍频Si02增透膜的设计、制备与改性
张雨露1 张欣向1 业海平1晏良宏2江波★·1
(1四川大学化学学院绿色化学与技术教育部重点实验室，成都610064)
(2中国工程物理研究院激光聚变研究中心，绵阳621900)
摘要：本文通过光学计算设计了具有不同厚度的三倍频增透膜。以氨水为催化剂、正硅酸乙酯frIE0s)为前驱体，通过溶胶一凝胶
(S01．Gel)技术制得SiO：溶胶；采用浸溃提拉法镀膜得到符合设计要求的三倍频增透膜。研究结果表明，增透膜的耐磨擦性能随
着膜层厚度的增大而增大．本文制得的厚度达到200nm以上的三倍频增透膜耐磨擦性能显著优于传统的l／4波长三倍频增透
膜。此外，本文以甲基含氢硅油为膜表面修饰剂，提出一种全新的超快的表面疏水性改性的方法。经该方法处理后，增透膜由亲
水膜转变为疏水膜，对水的接触角从23．4。增大至95。，增透膜的耐环境性显著提高。
关键词：溶胶一凝胶技术；三倍频；增透膜；甲基含氢硅油；耐磨擦性；耐环境性
中图分类号：0613．72 文献标识码：A 19—06
文章编号：1001-4861(2012)01-01
andModificationofThird-HarmonicSilica
Design，Preparation
AntireflectivewithDifferentThickness
Coatings
ZHANGYu—LulZHANG YE YAN Bo。，1
JIANG
Xin-Xian91Hai-Pin91Liang—Hon92
Green
f1KeyLaboratoryof ChemistryTechnology,CollegeofChemistry,SichuanUniversity,Chengdu610064,China)
Center Fusion,China
(2ResearchofLaser AcademyofEngineeringPhysical,Mianyang,Sichnan621900,China)
with via formula
Abstract：％ird-harmonic differentthicknesswere
antireflective(AR)coatings designedoptical
in and a8 solwas
this ammonia
work．Using catalyst，Si02preparedby
tetraethylorthosilicate(TEOS)a8precursor
AR wereobtained isfoundthattheabrasion-
sol-gelprocess．nedesignedcoatings
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