水导激光微细加工中激光与水束光纤耦合技术.pdfVIP

维普资讯 第 16卷 第 9期 光学 精密工程 VoI．16 No．9 2008年 9月 0pticsandPrecisionEngineering Sep．2008 文章编号 1004—924X(2008)09—1614—08 水导激光微细加工 中激光与水束光纤耦合技术 李 灵，杨立军，王 扬，刘 备，王 哲 (哈尔滨工业大学机械制造及自动化系，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘要 ：为了保证水导激光微细加工 中会聚激光与水束光纤的耦合效果，建立了由一个高精度耦合对准检测调整系统和一 个特殊结构耦合装置组成的新的耦合系统，并提出了新的耦合对准方法 。由于激光要经过空气层、玻璃层、水层进入水 束光纤，因此根据计算结果，采用激光烧斑法来确定会聚透镜与水束光纤起始端 (喷嘴孔)的距离；研究了激光在水束光 纤中发生全反射的最大入射角；通过流体动力学仿真，设计 了腔 内流场分布均匀的耦合装置 ，保证 了直径 0．12mm 的水 束光纤的高耦合品质 ；研究了激光能量在水束光纤中的衰减 ，采用特定波长和脉冲能量 的激光和特殊过滤 的去离子水来 减小激光能量在水束光纤中耦合 的损耗率。实验结果表 明，水束光纤导光长度超过 100ram；采用该耦合技术能够在 0．2ITlm厚 的硅基晶片上 以2mm／s速度切割出缝宽为 0．12mm 的均匀窄缝 ，且几乎无裂纹 、无热影 响区。该耦合技术 能够很好地满足水导激光微细加工 的要求 。 关 键 词 ：水导激光；激光微细加工；全反射 ；激光耦合 ；光纤耦合 ；仿真 中图分类号 ：TG665 文献标识码 ：A Laserandwater-jetfibercouplingtechnologyfor water-jetguidedlasermicromachining LILing，YangLi—jun，WANGYang，LIU Bei，WANGZhe (SchoolofMechatronicsEngineering，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) Abstract：Inordertoimprovethecouplingeffectoffocusedlaserandwater—jetfiber，anew coupling system consistingofanaccuratecouplingalignmentsystem andaspecialcouplingunitwasdesigned， andaspecialcouplingalignmentmethodalsowasputforward．Beforelaserarrivesatwater—jetfiber，it passesthroughair，glassesandwater，SOa1aserburningmethodwasused to determ inethedistance between focuslensandnozzleholebasedon calculatingresult．Themax angleoflaserincidencewas researchedforfullreflection．Afterfluidsimulation，thecouplingunitwasdesignedtomakethefluid fieldinthechambersymmetrcallyandform ahigh qualitywater—ietfiberwith diameterof0．12mm． Theattenuationoflaserenergyinwater—jetfiberwasinvestigatedandtheenergyattenuationinfiber wasreducedapplyingappropriatelaserwavelength，pulseenergyand filteredand deionizedwater． Theexperimentalresultsindicatethata100mm longwater—jetfiberiSformedinthispaper，andan 0．1