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一种新的光栅微位移测量方法的研究.pdfVIP

一种新的光栅微位移测量方法的研究.pdf

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2010牟912期 中图分类号:TH822文献标识码:A 文章编号:1009—2552(2010)12—0086—03 一种新的光栅微位移测量方法的研究 李党娟1,吴慎将2 (1.西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安710032; 2.西安工业大学北方信息工程学院,西安710032) 摘要:为了实现光栅莫尔条纹的精确计数和微位移的高精度测量,提出了一种新的莫尔条纹 精确计数算法。当光栅移动时,通过CCD摄像器件将莫尔条纹转换为动态光电信号,即随时间 变换的正弦信号。利用条纹周期性的能量分布曲线,对移动的莫尔条纹进行精确计数和判向, 通过使用Matlab软件编辑界面,直观的显示光栅莫尔条纹移动个数及光栅微小位移。通过对莫 尔条纹精确计数达到了对微小位移测量。实验结果表明,测量精度可以达到l脚. 关键词:莫尔条纹;计数;位移测量;GUI界面 Anovelmethodof micrometric grating displacement LIDang-juanl,WUShen-jian92 bIim 0f and (1.KeyI.al前ratory TechnologyOpticalMt璐aR-ement,Ⅺ’an TechnologicalUniversity,Xi’an7100ff2,蛐; 2.TheNorthInformation Moire wastransformedto Abstract:The CCD stripe dynamicphotoelectricitysignal imagedevice,SO by thesinusoidalwiththetime onisobmined.Whenthe ofsinusoidal signal going moved,the grating phase was becauseofthe novelMoire displacement.A signalchanged pattern fringecountingalgorithmis舀ven inthis a thatitcanrealizethe countofMoire paper.Thepaperproposedtheory precise fringe.The makesfullUSeoft}le distributioncurveof whichisnot callcountthe algorithm energy stripescyclical only Moire alsocan thedirectionof andthemicrometric of movingstripes,butdistinguish stripe displacement

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