对超低浓度甲烷具有高气敏性的自组装型SnO2纳米棒气敏传感器.pdfVIP

Research＆Development 纳采棒乞敏传彀器 基金项目：深圳市微纳光子信息技术重点实验室开放基金资助项目(编号：200081” 摘要：通过热蒸发Sn02和活性炭的混合粉末的自组装方式直接在Cr-Au梳状交叉电极上制备了一层 Sno。纳米棒气敏层，从而研制出了Sn02纳米棒气敏传感器，经测试，发现此传感器对于浓度范围为2～ 5pDm的甲烷具有非常好的探测灵敏度，继而从气敏机制、自组装制备方式、Sn02纳米棒的比表面特性及 Sn02纳米棒的尺度低于得拜长度等角度解释了此传感器对甲烷具有高气敏性的原因。 关键词：气敏传感器；纳米材料；气敏特性 中图分类号：TP212．2文献标识码：A文章编号：1006-883X(2008)06-0006-04 势◆王冰 一、前言 在专门用来检测微型信息的气敏传感器中，其工作机制是由于曝露于不同气体中而引起电子传导从而产 生氧化或还原反应。而由于这些反应依靠材料表面层所存在的活动中心或缺陷，那么提高器件对微弱信息的 捕获程度即微型灵敏度很大程度上靠传感层材料的比表面特性来决定…。 与传统的应用于气敏传感器的材料如体或膜材料相比，一维纳米材料如纳米线、纳米棒、纳米带、纳米 管等由于具有较好的比表面特性从而会产生更大的气体灵敏度响应，这表明微粒边缘的大的表面活性，及载 流子的完全耗尽状态能够有力地改善传感器的气敏性能121。直到目前为止，越来越多的金属氧化物半导体纳 米结构的气敏传感器由于具有操作温度低、功耗低、成本低、制备方法简便及与微电子产业良好匹配等优点 而被广泛地开发出来131。 对于气敏传感器来说，Sn02是一种具有良好导电性能的半导体材料。Kolmakov14】等人报道了可以探测 CO和02的Sn02单根纳米线气敏传感器。Kind[51等人报道使用单根Sn02纳米带气敏传感器在室温并且是紫 f3】等人报道相似的结果。另外，单根Sn02纳米线气敏传感器实现了在 外光下探测ppm量级的N02。Comini 室温条件下对H2的探测161。Sn02纳米线对酒精，CO，H2具有较高的灵敏度和稳定性探测17]。 然而，对于探测甲烷的气敏传感器的文章比较少见。于此，在本文中，我们介绍一种对CH。具有高探测 灵敏度的通过自组装方式制备的Sn02纳米棒气敏传感器。 二、Sn02纳米棒气敏传感器 Sn02纳米棒气敏传感器的原理：当气敏传感器处于氧化性气体环境中的时候，气敏材料Sn02纳米棒自身 的电子被氧化性气体分子捕获，这些捕获了电子的氧化性气体分子附着于气敏材料Sn02纳米棒表面，使得气 敏材料SnO：纳米棒内的自由电子减少，因而导电能力下降，以致于传感器电阻增大，电流降低；当此气敏传 传露器世舁2008．6 ◆ www．∞nsOrwO棚．oom．cn 万方数据 感器处于还原性气体环境中的时候，还原性气体分子与吸附 l、Cr-Au梳状交叉电极的制备，原理是微加工原理。 在气敏材料Sn02纳米棒表面的氧化性气体分子发生反应，使 具体流程及实验条件为： 得被氧化性气体分子捕获的电子顺继得以释放，回到气敏材 (1)通过真窄高温管式炉，在纯氧的气体环境下，在面 料SnO：纳米棒内，则此时，由于自由电子的增多，会使气敏 积为5x5cm2单晶Si衬底上氧化沉积一层Si02绝缘层，然后 材料SnO：纳米棒导电能力增大，以致于传感器电阻降低，电 通过光刻机在Si02绝缘层卜涂一层均匀的光刻胶： 流增大。通过对处于氧化性气体环境及还原性气体环境中的 (2)在光刻胶上贴一层印有已设计好的梳状交叉电极的 气敏材料Sn02纳米棒因电子吸附及解吸附过程的变更从而 模板，通过曝光过程使在梳状交叉电极地方的光刻胶剥落； 导致传感器自身电阻或电流发生变化的信息的捕获，就能成 (3)光刻胶剥落后，在si衬底上已形成的Si02绝缘层 功地达到对环境气体进行监测的目的。 表面