热处理对ZnOAl薄膜的结构、光学与电学性质的影响.pdfVIP

中国科学 G 辑 物理学 力学 天文学 2004, 34(3): 345~353 345 热处理对ZnO:Al 薄膜的结构 光学 和电学性质的影响* 陈艳伟 于文华 刘益春 ** ( 东北师范大学先进光电子功能材料研究中心, 长春130024; 中国科学院长春光学精密机械 与物理研究所激发态物理重点实验室, 长春 130021) 摘要 用电子束蒸发技术在石英衬底上制备了铝掺杂氧化锌(ZnO:Al) 透明导 电薄膜, 并对其退火前后的结构和光电性质进行了研究. X 射线衍射实验结果表 明所制备样品均具有c 轴择优取向的六角多晶结构. 光致发光谱由较强的紫外发 光和弱深能级缺陷发光组成. 薄膜具有较高的透射率 电导率和载流子浓度. Hall 效应测试结果表明薄膜为简并n 型半导体, 室温电阻率为6.7 104 Ù cm, 载流 子浓度在1020 cm3 量级. 研究了其导电机理及载流子的输运机制. 关键词 ZnO:Al 薄膜 光致发光 电学性质 结构性质 Van der Pauw 测试 透明导电膜具有高导电性及可见光透射性, 可分为金属膜和氧化物半导体 膜两类. 金属膜如Au , Ag, Cu 等, 因其透光性和导电性存在相反的关系, 所以膜 厚一般被限制在30~150 Å. 然而这种厚度的金属膜, 容易形成岛状结构, 所以与 连续性膜相比, 电阻率 吸收率均较高. 透明导电氧化物(TCO) 薄膜如SnO , In O , 2 2 3 CdO 和Cd SnO 等半导体薄膜, 因具有较好的光电性质, 被广泛用于制做各种显 2 4 示器 非晶硅和Cu(InGa)Se 基薄膜太阳能电池的透明电极薄膜材料[1,2] 液晶元 2 [3] 件电极 太阳能电池的窗口材料 低损耗光波导材料等. 发展较早的TCO 薄膜为SnO , 而后来在商业上广泛应用的TCO 材料是ITO 2 薄膜(In O 中适量掺杂Sn). 这是由于 ITO 薄膜的优越特性 高透光率(90%), 低 2 3 直流电阻, 高IR 反射和微波区域的吸收. 但是由于ITO 薄膜的热稳定性差, 抗辐 射能力弱而限制了它的应用. 近年来 ZnO:Al 薄膜作为 ITO 薄膜的替代材料, 引 起人们广泛的关注. 因为ZnO:Al 薄膜不仅具有可与ITO 薄膜相比拟的光电性质, 2003-08-01 收稿, 2004-04-06 收修改稿 * 国家自然科学基金资助项目(批准号: ** 联系人, E-mail: ycliu@ SCIENCE IN CHINA Ser. G Physics, Mechanics Astronomy 346 中国科学 G 辑 物理学 力学 天文学 第34 卷 而且还具有以下优点: 原材料丰富 价格低 无毒 沉积温度低 热稳定性高, 尤