力反馈微加速度计的准静态和阶跃响应模型.pdfVIP

第40卷第lo期 机 械 工 程 学 报 v01．40No．10 2004年1O月 Oct 2OO4 0FMECHANICALENGINEERING CHINESEJOURNAL 力反馈微加速度计的准静态和阶跃响应模型宰 车录锋 (中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050) 徐志农 (浙江大学机械与能源工程学院杭州310027) 熊斌王跃林 (中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050) 摘要：对于微机械电容式加速度计，为了检测微小电容变化，必须引入交直流电压驱动信号，然而该静电力的存 在显著影响传感器的最大可靠工作范围。对准静态惯性信号和阶跃惯性信号，深入研究了力反馈加速度计的可靠 工作范围，建立了不同偏压配置的驱动信号对引起吸合失效的I临界加速度信号的影响模型。研究结果表明静电力 对阶跃信号的影响要比准静态信号大，动态工作条件下所能承受的最大阶跃加速度信号比准静态信号要小一个数 量园子。对于双边驱动的力反馈加速度计，正正偏压配置或正负偏压配置可以最大程度地减小驱动信号引起的传 感器吸合失效，从而增大可靠工作范围；而负负偏压配置或负正偏压配置增大了驱动信号效应，从而大大减小了 可靠工作范围。 关键词：加速度计静电力偏置电压极性反馈 中图分类号：TH7 与驱动信号大小紧密相关，驱动信号越大，可靠工 0前言 作范围越小。对于一定大小的驱动信号(对于零驱动 信号，p=0：对于单边驱动，p=0．148；对于双边驱 动，p=O．250)，传感器的可靠工作范围随由结构弹 微机械(MEMs)技术是实现惯性传感器和惯性 组合微型化的重要手段。微机械加速度计的检测原 性常数确定的p值增大而减小。然而对于传感器的 理主要有压阻式和电容式，压阻式动态响应特性及 最大可靠工作范围，准静态信号(或临界阻尼条件) 仅是一种最理想条件。事实上，惯性信号经常是动 输出线性较好，但是性能受温度影响很大并对加工 态信号，而且机械结构的阻尼比远小于l。在这种 应力比较敏感，而电容式灵敏度高、温度系数小、 条件下，可靠工作范围会由于器件振动质量的过冲 稳定性好和制作工艺比较简单，但是检测电路比较 而显著减小。在最坏的工作条件下，阻尼效应接近 复杂，不像压阻式加速度计那么简单。为了检测电 于零或严重的欠阻尼，将会导致最小的可靠工作范 容式传感器，采用某种形式的交直流电压驱动信号 围。传感器的实际工作条件应该在两种极端条件之 常常是测量电容变化的必要手段【l“。驱动信号引起 中，在设计时通常考虑最坏的工作条件即严重的欠 作用于可动电极上的静电力，从而影响可动电极的 阻尼条件。所以深入研究了力反馈电容式加速度计， 运动，进而影响传感器的测量精度和可靠工作范围。