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第24 卷 第4 期 计 量 学 报 Vol. 24 , №4
2003 年 10 月 ACTA METROLOGICA SINICA October 2003
激光干涉仪非线性的测量
许 婕 , 徐 毅 , 叶孝佑
( 中国计量科学研究院 , 北京 100013)
摘要 : 激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为 1～5 nm ,为了对这样的非线性进行测量 , 必须使用高
精度测量方法 ,并建立高精度测量装置。文中描述了高精度拍频法布里珀罗激光干涉仪 ,和利用它对工业激光干
μ
涉仪的非线性进行的测量实验。测量范围大于 1. 3 m , 测量不确定度约为 2 nm 。
关键词 : 计量学 ; 拍频法布里珀罗干涉仪 ; 纳米测量 ; 非线性测量
( )
中图分类号: TB92 文献标识码 : A 文章编号 : 2003
The Mea surement for the Nonlinearity of La ser Interferometer
XU Jie , XU Yi , YE Xiaoyou
(National Institute of Metrology , Beijing 100013 , China)
Abstract : The nonlinearities of laser interferometer and precision displacement sensor are about 1 to 5 nm. Both of measuring
method and equipments must be used for the nonlinearity measurement. A FabryPerot interferometer of laser by beat frequency
with high accuracy and the experiments using it to industry interferometer is described. The measurement range is larger than 1. 3
μ
m with the accuracy of 2 nm.
Key words : Metrology ; FabryPerot interferometer ; Measurement in nanometer ; Nonlinearity
1 引言 2 测量装置
随着精密加工等对测量精度要求的不断提高 , 拍频 FP 激光干涉仪测量工业激光干涉仪非线
激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性已成为必 性的测量装置及原理如图 1 所示。图中 ,D ,D 为
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