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横向振动微结构空气阻尼的理论研究 章彬 黄庆安 (东南大学微电子中心南京2100％) 摘要 te—type)和斯托 本篇论文考虑了边缘效应的影响，用库特模式(foust 克斯模式(Stocks-type)两种流体边界屡理论建立了一个分析计算模型． 对几种横向振动谐振器的O值进行了计算．其平均误羔小于10％． 关奠词 谐振嚣，Q值，振动，空气阻厝。功耗 1．前言 采用表面微加工技术制作徽谐振器件．不仅和IC工艺兼容，还有噪声小、热稳定性好 及抗老化等优点，而且若没有空气阻尼的影响．其品质因子会非常大，但在常压下，它的Q 值只有数百的量级【1、2】．诸多实验证实了Q值主要由空气阻尼决定．利用真空封装技术虽 然可提高器件工作时的Q值．但同时却带来频率漂移、倍频效应、器件可靠性降低及成本提 高等效应【3】．因此希望能精确她估算空气粘滞阻尼的功耗．W．C．Tan西4]和zH．Cho[5、6】 曹建立过两种阻尼功耗模型，但都没有考虑边缘效应．故误差较大． 本文以库特和斯托克斯阻尼模型为理论基础，建立了计入边缘散应影响的空气粘滞阻尼 模型．对几个横向振动谐振器的Q值进行了计算．并与已报道的值进行了比较。结果表明考 虑边缘效应后的模型明显地提高了O值的计算精度。 2．理论模型的建立 2．1痒特和斯脱克斯理论的介绍 下面首先简介库特和斯托克斯理论模式的特点【7】．由 图2．a见，库特模型的边界层流体只有振幅变化．没有相 位的变化．。振动主体上部的流线速度方程与振动主体相同， J“ 而下部为Ⅳcy，f)=Uo=—÷COSCOt。式中乩是振幅，∞ 』 口 是振动角频率．、d是平板与衬底之间的距离．在一个周期 内．振动主体下部单位面积的阻尼功耗是 ％=吾职【詈】，式中∥是粘性系数·库特模型因为忽 = 啊1．●L—rJ_工横^●汹Ji，■■H■l 略上部阻尼功耗，所以计算得到的品质因子偏高． 图2．b所示为理想状态。F的斯托克新模型中一尺寸远大于空气分子目由程的振动平板} 起的粘滞流体的速度方程。满足纳维尔．斯托克斯方程： —au(y—,t)：y掣 (1) 拼 咖‘ 式中y是运动粘滞率，本文中取0．IScm2／s．根据牛顿定理知振动主体所受的阻尼力为： 脚，=I刳 ㈤ 于是得到了振动平板在一个周期内，单位面积上粘滞阻尼的功耗是： D=I (3) f(O,eX)”(0，耐y(耐) f 而且由上式解得的平扳下表面的功 耗和库特模型计算所得的下表面的 功耗之比％／p口，可以获知在高 频、太间距情况下．库特模型计算 ● 得到的功耗数值比斯托克斯模型得 到的数值结果要小。 圈2．精托直斯模式和．W-曩II．II．式曲藏俸裹冒善 2．2考虑边缘效应的模型 考虑边缘效匝后，图1所不系统功耗在一个周期内为： 矿=坟。A。+D04d+D。4+％ (4) 其中zk表示斯托克斯模型解得的谐振器上表面单位面积的阻尼功耗．zk是用库特模型计 算得到的暮指间单位面积的阻尼功耗，如和Aa分别是振动体上下表面的面积，A。