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横向振动微结构空气阻尼的理论研究
章彬 黄庆安
(东南大学微电子中心南京2100%)
摘要 te—type)和斯托
本篇论文考虑了边缘效应的影响,用库特模式(foust
克斯模式(Stocks-type)两种流体边界屡理论建立了一个分析计算模型.
对几种横向振动谐振器的O值进行了计算.其平均误羔小于10%.
关奠词 谐振嚣,Q值,振动,空气阻厝。功耗
1.前言
采用表面微加工技术制作徽谐振器件.不仅和IC工艺兼容,还有噪声小、热稳定性好
及抗老化等优点,而且若没有空气阻尼的影响.其品质因子会非常大,但在常压下,它的Q
值只有数百的量级【1、2】.诸多实验证实了Q值主要由空气阻尼决定.利用真空封装技术虽
然可提高器件工作时的Q值.但同时却带来频率漂移、倍频效应、器件可靠性降低及成本提
高等效应【3】.因此希望能精确她估算空气粘滞阻尼的功耗.W.C.Tan西4]和zH.Cho[5、6】
曹建立过两种阻尼功耗模型,但都没有考虑边缘效应.故误差较大.
本文以库特和斯托克斯阻尼模型为理论基础,建立了计入边缘散应影响的空气粘滞阻尼
模型.对几个横向振动谐振器的Q值进行了计算.并与已报道的值进行了比较。结果表明考
虑边缘效应后的模型明显地提高了O值的计算精度。
2.理论模型的建立
2.1痒特和斯脱克斯理论的介绍
下面首先简介库特和斯托克斯理论模式的特点【7】.由
图2.a见,库特模型的边界层流体只有振幅变化.没有相
位的变化.。振动主体上部的流线速度方程与振动主体相同,
J“
而下部为Ⅳcy,f)=Uo=—÷COSCOt。式中乩是振幅,∞
』 口
是振动角频率.、d是平板与衬底之间的距离.在一个周期
内.振动主体下部单位面积的阻尼功耗是
%=吾职【詈】,式中∥是粘性系数·库特模型因为忽 =
啊1.●L—rJ_工横^●汹Ji,■■H■l
略上部阻尼功耗,所以计算得到的品质因子偏高.
图2.b所示为理想状态。F的斯托克新模型中一尺寸远大于空气分子目由程的振动平板}
起的粘滞流体的速度方程。满足纳维尔.斯托克斯方程:
—au(y—,t):y掣 (1)
拼 咖‘
式中y是运动粘滞率,本文中取0.IScm2/s.根据牛顿定理知振动主体所受的阻尼力为:
脚,=I刳 ㈤
于是得到了振动平板在一个周期内,单位面积上粘滞阻尼的功耗是:
D=I (3)
f(O,eX)”(0,耐y(耐)
f
而且由上式解得的平扳下表面的功
耗和库特模型计算所得的下表面的
功耗之比%/p口,可以获知在高
频、太间距情况下.库特模型计算
●
得到的功耗数值比斯托克斯模型得
到的数值结果要小。 圈2.精托直斯模式和.W-曩II.II.式曲藏俸裹冒善
2.2考虑边缘效应的模型
考虑边缘效匝后,图1所不系统功耗在一个周期内为:
矿=坟。A。+D04d+D。4+% (4)
其中zk表示斯托克斯模型解得的谐振器上表面单位面积的阻尼功耗.zk是用库特模型计
算得到的暮指间单位面积的阻尼功耗,如和Aa分别是振动体上下表面的面积,A。
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