线切割与真空热扩散焊组合工艺制备微模具.pdfVIP

第23卷第4期 V01．23 光学精密工程 No．4 andPrecision 2015年4月 Optics Engineering Apr．2015 文章编号1004—924X(2015)04—0988—08 线切割与真空热扩散焊组合工艺制备微模具 钟金明1’2，伍晓宇1’弘，徐斌1，罗 烽1，李积彬1，阮双琛2 (1．深圳大学机电与控制工程学院深圳市模具先进制造技术重点实验室，广东深圳518060； 2．深圳大学广东省高校先进光学精密制造技术重点实验室，广东深圳518060) 摘要：采用线切割和真空压力热扩散焊组合工艺制备了高深宽比的三维微结构。分别研究了线切割与热扩散焊工艺并 A，电压为 获得了较好的工艺参数用于制备微模具。首先，在脉冲宽度为10弘s，脉冲间隔为40ps，线切割电流为0．28 60V的条件下，对100“In厚的铜箔进行线切割，获得了多层二维微结构。然后，在热扩散温度为850℃，热扩散时间为 10 h，压力为1．0肚Pa的工艺参数作用下，对多层铜箔二维微结构进行真空压力热扩散焊接，通过多层二维微结构的叠加 形成微模具，并制备了六棱台微型腔模具及微型级联齿轮模具。实验结果表明：三维微模具表面形貌较好，制作结果较 理想，与设计模型基本相符。最后，通过超声模压成型分别获得了二阶和三阶的塑料级联齿轮。这些微塑件质量良好， 验证了该工艺方法的可行性。 关键词：三维微结构；微注塑模具；线切割；真空压力热扩散焊 中图分类号：TG76文献标识码：A doi：10．3788／OPE0988 ofmicro-moldbasedon Laminatedfabrication WEDMandthermaldiffusion welding ZHONG Bin Jin—min91～，WUXiao—yul’“，XU LUO Ji—binl，RUAN Fen91，LI Shuang—chen2 (1．Shenzhen Advanced MoldDie， KeyLaboratoryof ManufacturingTechnologyfor MechatronicsandControl 518060，China； Collegeof Engineering，ShenzhenUniversity，Shenzhen AdvancedPrecision 2．KeyLaboratoryof Optical ManufacturingTechnologyofGuangdongHigher Education Institutes，Shenzhen 518060，China) University，Shenzhen *Co r7rPspo卵di九gauthor，E-mail：wuxy@SZU．edu．cn witha