PZT厚膜及高频超声换能器的研究.pdf

左fcl夕箩29卷第l期2。l。年1月 Acoustics 74 Applied V01．29，No．1，Jan．，2010 PZT厚膜及高频超声换能器的研究 温建强”刘美丽2 (1中国科学院声学研究所北京100190) (2北京航空航天大学生物与医学工程学院北京100191) 摘要近年来，基于PZT厚膜的超声换能器研究受到了广泛的重视。本文综述了PZT厚膜制备技 术的发展情况，简要介绍了水下声纳和医用超声领域中PZT厚膜型高频超声换能器的应用研制 进展。 关键词PZT厚膜，超声换能器，高频换能器 PZT filmand transducer thick ultrasonic highfrequency WEN LIUMei．Liz Jian—Qian91 Institute (1 ofAcoustics,ChineseAcademyofSciences,Beijing100190) ofthePZTthick fabrication ofthe AbstractWimthe film development technology．Study ultrasonic onthePZTthickfilmhasbeen transducerbased extensivelyemphasizedrecently． film This summarizesthecurrent ofthePZTthickfabricationtechnology， paper developments andreviewsthecurrentresearch of ultrasonictransducerbasedOn high applicationsfrequency inunderwaterandmedicalultrasonics． PZTthickfilmresearch sonar wordsPZTmickfilm，Ultrasonic transducer Key transducer，Highfrequency 1引言 在此基础上，已研制出了不少集成化的微型 超声换能器件。本文就目前PZT厚膜制备技 声波属于机械波，是机械振动在弹性媒 术的发展现状进行了综述，并简要介绍了在 质中的传播。锆钛酸铅(PZT)材料具有良水声、医学超声诊断等领域基于PZT厚膜型 好的压电和高效的机电耦合性能，是超声换 超声传感器的研究进展和发展趋势。 能器的首选制作材料。 随着器件小型化、微型化和集