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摘要
通过适量掺杂的SnO:透明导电薄膜具有优异的光电性能,能在太阳能电池、
液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。本课题的主要目的是研究水
中性溶胶中制备出了Sb5+掺杂Sn02低电阻薄膜,并在5at%Sb5+掺杂的基础上,
系中的溶解络合机理,研究了离子种类、掺杂浓度、膜厚、热处理温度对Sn02
薄膜的薄膜形貌、透光率和表面电阻的影响;采用IR、Raman、FESEM、XRD、
XPS、FETEM、UV二VIS、四探针测试仪进行了表征。
结果表明:SnC204在羧酸一碱络合体系中溶解络合具有普遍性,羧酸起络合
作用,碱试剂具有破坏SnC204结构和促进羧酸电离的双重作用,在pH值6.4-7.0
可以得到晶化质量较好的薄膜,进一步延长热处理时间可提高薄膜透光性,但加
重了锑的挥发而恶化薄膜的导电性能。6.5at%Sb掺杂Sn02薄膜具有最低的表面
电阻45例,透光率70%,过高的Sb掺杂会形成Sb204而升高表面电阻。在
5at%Sb掺杂Sn02薄膜基础上Mo或F的共掺杂,有抑制晶粒生长的作用,其中
F掺杂能提高ATO薄膜的导电性能,在掺氟6%,拉膜20次,薄膜方阻最低达
60剑,同时薄膜的透光率80%。Zn2+掺杂恶化ATO薄膜的导电性能,但能促
进晶粒生长,提高薄膜的透光性能。
关键词:Sn02薄膜;溶胶凝胶:络合反应;掺杂改性ATO
ABSTRACT
conductivefilmshave andelectrical
Sn02 excellent
transparent optical properties,
andare tovariouselectricaland devices
widelyapplied optical includingliquid
cellandSO andconductiveoxideelectrodes.In
crystaldisplay,solar on,aStransparent
this filmswere methodfrom with
paper,Sn02 preparedsol—gel SNC204,chelated
by
acid-base filmswereheat-treatedat300℃and450(2both
carboxylic system,andgel
forlOminineach mechanismof in acid—base
cycle.Chelation SNC204carboxylic
WaSdiscussed.Effectof thickness
system concentration,film
dopingirons,doping
and and of
on Sn02:Sb
temperaturecrystallitegrowth,electiricaloptical
properties
were
films characteristicsof Sn02
investigated,and Sb-Mo,Sb-Zn,Sb-Fco-
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