三维调制靶模板的快速刀具伺服加工技术.pdfVIP

第9卷 第6期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．9 No．6 2011年 11月 NanotechnologyandPrecisionEngineering NOV． 2o11 三维调制靶模板的快速刀具伺服加工技术 周京博 ，黄燕华 ，孙 涛 (1．哈尔滨工业大学精密工程研究所，哈尔滨 150001； 2．中国工程物理研究院等离子体物理国家重点实验室 ，绵阳621900) 摘 要：采用快速刀具伺服技术(FIS)实现了非回转对称三维调制靶模板的精密车削加工．阐明了调制靶模板车 削加工的基本原理，并提 出一种基于坐标变换的金刚石刀具几何参数选择方法，推导了车削加工此类表面时金刚 石刀具刀尖圆弧半径、前角和后角所需满足的条件．基于此提出了一种基于三次Hermite插值的刀尖圆弧半径补偿 算法，并详细讨论 了插值节点的计算方法．由刀尖圆弧半径补偿仿真结果可以看 出，此补偿算法精度优于2nm．在 自行研制的精密金刚石车床上实现 了 、l，方向上波长均为 100 m、幅值均为 0．7 m的正弦网格调制结构的加 工．采用白光干涉仪对所加工的调制结构进行测量，并提取二维轮廓进行分析，其轮廓误差为0．31 m，表面粗糙度 为 l3．3nm．测量结果表明采用基于快速刀具伺服的非回转对称车削是实现三维调制靶模板制作的有效手段． 关键词：三维调制靶模板；金刚石车削；快速刀具伺服 ；刀具参数；刀尖圆弧半径 中图分类号：TG519．3 文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2011)06-0526-07 Fabricationof3D PerturbationTargetM ouldUsing FastToolServoSystem ZHOUJing．bo，HUANG Yan．hua，SUN Tao (1．CenterofPrecisionEngineering，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China； 2．NationalKeyLaboratoryofPlasmaPhysics，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，Mianyang621900，China) Abstract：3D non·rationalsymmetricalperturbation targetmouldwasfabricatedusingfasttoolservo (FTS)．Thefabricationprincipleoftheperturbationtargetmouldwasillustratedandageometryselection methodofdiamondcuttingtoolwasputforwardwhichwasbasedon thecoordinatetransformationtech— nique．RequirementsoftoolDoseradius，rakeangle，andclearanceangleforturningthesesurfaceswere deducted．A toolnoseradiuscompensationalgorithmbasedoncubicHermiteinterpolationwasproposed， andthecalculatingmethodofinteprolationnodeWasalsodiscussedindetail．Thesimulationresultshows thattheaccuracyofthiscompensationalgorithm islessthan2nm．Thenasinusoidal dsurfacewiththe wavelengthof100