光学元件表面的数字全息检测.pdf

第24卷第l期 强 激 光 与 粒 子 束 VOI24，NO．1 201 H1(；HP()WERI．ASERANI)PARTlCLEl{E人MS 2 2年1月 Jan．，201 4322(2012)01-007905 文章编号：1001 光学元件表面的数字全息检测。 王墙景， 肖 文， 潘锋， 寇 鑫， 张 菁。 李建毅 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京10019】) 摘要：针对球形光学元件的表面质量检测．开发了一种基于数字全息的表面曲率参数及疵病的同步检 测方法。利用最小二乘法对再现渡前进行参数拟台和计算，解决了再现过程中倾斜因子补偿对测量可靠性造 成的影响。通过将原始数据与生成的虚拟曲面相减实现了表面疵病信息的同步提取。实验证明，该方法的测 量结果与白光干涉仪的测世差异小于1．5％．在不同倾斜因子补偿系数作用下的测量结果误差小于1％。 关键词： 数字全息；光学元件； 最小二乘法； 曲率半径； 表面疵病 中图分类号：0438．1 文献标志码：A doi：103788／HPI，P0079 光学元件的表面面形质量会严重影响光学系统的光束质量““，目前应用于光学元件表面质量检测的Tw— 需要连续的相位调制及对被测样品摆放位置和角度的高精度要求等。数字全息技术是在传统全息的基础上发 展而来的。通过CCD等电子图像传感器件的引入，数字全息实现了全息图的数字化记录，并利用电子计算机 进行全数字化的重建，可以通过一幅全息图得到量化的物光复光场信息，即同时获取物光波前的强度和相位分 布，进而取得被测物体表面的形貌数据“9】。近年来，数字全息技术也开始被应用于光学元件的表面质量检测， 的数字全息记录、再现，得到了透镜表面曲率半径”…。然而测量光路的机械运动影响了该方法的测量可靠性 和精度，大量全息图的记录和再现也制约了测量效率的提高。I，．Miccio沿一条过被测面再现像中心的直线路 径取形貌分布数据，通过对该曲线的拟合计算液态透镜阵列的表面曲率参数“…，A．Ettemeyer也用该方法实 现了对固体激光器谐振腔棱镜热透镜效应的实时检测”“。但是，该方法的测量结果容易受到路径选取方向的 影响．同时，中心点的确定也容易被噪声所干扰。F．Charriere利用被测表面再现像圆形边缘的直径及中心点 与边缘的高度差来计算被测表面的曲率半径‘”‘，同时，利用计算结果生成的相位蒙板与原数据相减，实现了疵 病信息的提取。该方法的测量结果易被噪声和再现过程中的倾斜因子补偿所影响，测量结果的可靠性无法得 到保证。 本文提出了一种基于数字全息的光学元件球形表面质量检测方法。通过将原始数据与计算生成的虚拟曲 面相减，实现了表面疵病的同步提取，提高了质量检测的效率。 l理论分析 平面光波照明下的光学元件表面的反射光与平面参考光在 电子图像传感器的光敏面以一个适当的离轴角相干叠加，产生 干涉图像并被其记录，得到数字全息图H(}¨)。在重建过程 中．首先利用频域滤波的方法将零级像和共轭像滤除…，再对 滤波后的全息图进行相位倾斜因子的补偿……，得到处理后的全 息图H7(}，r／)。其中，倾斜因子补偿(图1)是通过给全息图引入 鋈 一个倾斜相差．等效的改变再现过程中虚拟平面照明光的角度． 实现对再现物光场波前传播方向的调接。该步骤能够让再现物 光场沿轴向进行传输，使其在再现图像中的位置不随再现距离 的变化而移动。为了保证再现图像的像素分辨率不随再现距离 1025 *收稿日期：2011()610I 修订日期：2011 77006) 基金项目：闻家门然科学毓台=项I|611