ATMI发布革命性的AutoClean技术,该技术通过减少离子注入设备停工时间提供更高制程效率美国国家半导体推出业界最小型而能效则高达90%的便携式系统LED及OLED显示驱动器.pdf

电子工业薹用设备 ·新品介绍· 乳Ilip腓毗塑墨堕趔咝幽啦里锄Ⅱfac妇亩遽团 停工时间提供更高制程效率 半导体材料领域领导厂商ATMl日前通过在户要求的变动做出响应，这是因为经常使用Auto— Clean可最大程度地降低对注入机中材料种类变化 年度Semiconwest(美国西部半导体设备展览会) 贸易展开幕活动上发布其创新Autoclean(廿n)技术的限制需求。举例来说，现在晶圆工厂可在运行硼 而为离予注入制程带来了新的益处。离子注入制程 制程后立刻开始运行磷制程，反之亦然，如果那是 最优化晶圆工厂产量的最佳方法的话。 对半导体生产上非常重要。Autoclean是一项革命性 技术，它将材料、封装以及制程优化台而为一，实现 ATMT致力于离子注入制程模块中不断创新的承诺。 注入机内部的化学残留物产生强烈的反应。定期使 离子注入制程一直以来是半导体制造领域之 中最具毒性的制程之一，无论是在清洗还是在非计 clean制程，使晶片加工业者能够从更高效率、更清 划停工影响方面都能让半导体晶圆工厂最为头疼 洁的离子注入制程中获益匪浅。 的一个问题。Aut0Clean技术迎面解决了这些问题。Baron还指出，新的离子注入清洁制程通过将 ATMl离子注入解决方案总经理NeilB”0n表示， 固体有毒废弃物在排出前转化为气体形式而提供 了一种更健康、干净的方法，从而使人们对有毒废 事实证明，新的Autoclean制程能够显著减少停工 时间，从而为各晶圆工厂提供无可比拟的新层级制 弃物的担忧降至最低。半导体行业在气体处理方面 程效率，而这是其它传统的制程完全无法实现的。 做得非常好，这一新制程为我们的客户提供了觯决 这顾虑的角色。 Autoclean为晶圆工厂提供了更大的灵活性来对客 美国国家半导体推出业界最小型而能效则高达90％的 便携式系统LED及OLED显示驱动器 三款来自美国国家半导体Powerwise高能效管提供多带背光。这款芯片不但可编程，还具备多 系列的全新驱动器，可有效延长手持多媒体设备的 级光暗控制和1个12C兼容接口，因此灵活的满足 电池寿命 客户对各种多媒体功能的需求，例如游戏，移动电 美国国家半导体公司日前宣布该公司的Pow．视等。 LM2757芯片也采用microsMD封装，只需4 erwise＆rcg粕1650；系列高能效芯片产品系列又 添加三款全新的电源管理产品，分别是LM2755发个小型的陶瓷电容器，因此整个方案的体积不超过 光二极管驱动器、uⅥ2757无电感开关电容升压稳12mm2。这款芯片可以输出极高电流，并可以通过 压器以及LM4510高电压升压稳压器。此三款外型引脚选择输出电压，无需电感器即可为外围设备提 小巧的新品可以驱动投光二极管和有机发光二极 供照明，例如为小键盘提供背光。n心757芯片也 可为usB0n_The—Go外围设备提供稳压供电。 管(OLED)显示器，最适用于便携式多媒体设备。除 可有效延长系统电池寿命外，它们还可支持新一代 美国国家半导体的LM4510芯片是一款同步 的视觉效果。 高压升压稳压器，可支持有机发光二极管fOLED)显 LM2755驱动器芯片采用小巧纤薄的mjcro示器，这类显示器与液晶显示器相比更加纤薄，而 sMD封装，可为3个独立的红绿蓝发光二极管，或且耗电更少。这款芯片采用小型的LLP＆re篱＆#61650； 者受控于可编程图形发生器的白色指标发光二极 封装，能效高达85％，可有效延长电池寿命。 万方数据 ATMI发布革命性的AutoClean技术,该技术通过减少离子注入 设备停工时间提供更高制程效率/美国国家半导体推